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    [分享]一种新的离轴倾斜照明系统 [复制链接]

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    离线hhxxgg00
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2015-06-29
    关键词： 照明系统
    为了满足超大规模集成电路的发展需要, 投影光刻技术得到了飞速发展, 投影光刻机分辨力的提高始终成为微光刻技术的核心问题。i 线和深紫外( 2 4 8n m ) 光学光刻与x 射线光刻相比就实现技术难点和实现成本而言, 已成为亚半微米微细图形制造工艺技术中的首选设备。然而靠增大数值孔径和缩短曝光波长提高实际分辨力是有限的, 这主要是由于焦深会随数值孔径的增大和波长的缩短而迅速减小, 在现有的半导体制作工艺水平下难以实现。为此, 寻求既不影响焦深又能提高分辨力的新方法已成为近年来人们研究的热点, 出现了诸如离轴照明, 移相掩模, 光瞳滤波, 表面成像和多焦面曝光等新技术。
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    这个时代，每个人都在大声说话，每个人都在争分夺秒。我们用最快的速度站上高度。但是也在瞬间失去态度。当喇叭声遮盖了引擎声，我们早已忘记，谦谦之道才是君子之道。你问我这个时代需要什么，在别人喧嚣的时候安静，在众人安静的时候发声。不喧哗，自有声。
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    离线dahai
    助理工程师
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    只看该作者 1楼 发表于: 2015-06-29
    好东西，谢谢楼主分享
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    离线hzdp
    论坛版主
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    只看该作者 2楼 发表于: 2015-06-30
    学习学习
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    离线zcp12121212
    助理工程师
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    只看该作者 3楼 发表于: 2015-07-01
    看一下~~~~
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    离线jccqqqqq
    助理工程师
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    只看该作者 4楼 发表于: 2015-07-01
    看看怎么回事 J0220 _  
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    离线jiuxs
    实习生
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    只看该作者 5楼 发表于: 2015-07-01
    好东西，谢谢楼主分享
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    离线optic37world
    技术员
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    只看该作者 6楼 发表于: 2015-07-01
    很好，学习中。。。。。。。
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    离线moth
    助理工程师
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    只看该作者 7楼 发表于: 2015-07-01
    ..........
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    离线mang2004
    论坛版主
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    只看该作者 8楼 发表于: 2015-07-01
    thanks for share.
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    离线zpx1007
    实习生
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    只看该作者 9楼 发表于: 2015-07-03
    高大上的东西
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