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[求助]在PMMA基底上冷镀膜出现裂膜，膜层不牢固 [复制链接]

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离线dumoty

高级工程师

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只看楼主倒序阅读楼主发表于: 2015-04-21

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关键词：镀膜工艺 PMMA

在PMMA基底上镀AR膜系，905nm增透。
基片经超声波中性洗剂清洗后，放在恒温箱中75℃，退火2h；在光驰机器中不加热，开离子源，真空抽至2E-3开始镀（Ta2O5/石英环）。
出锅后，基片上的膜层就出现明显裂痕。
基片翻面放进机器，降低镀石英环的离子轰击能量，并在出锅后，直接放入恒温箱中75℃退火2h。结果是基片没有裂痕，但膜层一擦就掉。
请教下各位，应该怎样有效的降低PMMA的内应力，工艺上有哪些不当的地方希望可以不吝言辞予以指正，谢谢！