[求助]在PMMA基底上冷镀膜出现裂膜，膜层不牢固 [复制链接]

怎么解决呢？

工艺很重要

才看到楼主的帖子，（虽然楼主这个帖子时间很久了） |9s wZ[  
楼主，我最近接触这个材料的镀膜，也是PMMA（700nm增透），镀膜的话容易膜裂（主要是高温会导致膜裂>80C°） 5u,sx664  
是不是可以降低恒温箱的退火温度来试试

小小牛—光电:才看到楼主的帖子，（虽然楼主这个帖子时间很久了） "2K|#,%N  
楼主，我最近接触这个材料的镀膜，也是PMMA（700nm增透），镀膜的话容易膜裂（主要是高温会导致膜裂>80C°） %>NRna  
是不是可以降低恒温箱的退火温度来试试 (2018-10-11 15:58)  [r~~=b7*[  

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第一层加50-100A  SIO打底,或者直接换膜料,都可以解决膜裂问题

在你现有的工艺基础上，打底一层薄的SIO

提高一下，加工工艺条件。

问题已解决，方案在25楼

楼主做事有始有终，必须赞一个。

正在做冷度ar，离子源辅助（O2），镀sio2的时候不开离子源比开离子源膜强度要高，但依旧达不到要求，膜层易脱落，用指甲就螚把膜层刮下来，暂未解决

knight627:第一层加50-100A  SIO打底,或者直接换膜料,都可以解决膜裂问题 (2018-10-12 14:34)  EY[
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SIO 这个试过几次  镀10nm，效果没有改善。  可能是SIO 这个料不太好用， 光斑用的60 60，电流100mA   没有融料痕迹。   这个料需求预融吗？具体怎么使用  ？多谢赐教！