[求助]在PMMA基底上冷镀膜出现裂膜，膜层不牢固 [复制链接]

工艺条件再说详细一点，第一层是什么膜料，蒸镀过程是否离子源一直辅助，脱膜现象是否有伞架位置之分等等

大家一起研究一下

基片加硬的问题，刚刚遇到过的，亚克力的镀完膜层不牢，后来，退客户端他们加硬后就OK了。至于怎么加硬就不太清楚了。

PMMA本身镀增透就有点自相矛盾的，基板与膜料结合不好，要增加结合效果就要表面增加粗糙度，增加粗糙度就会对产品透过有影响。之前有想买台湾的一种设备来增加表面粗糙度，后面也是不了了之。PMMA在镀膜这块确实不好解决，膜裂可以搞，但是脱膜不好搞，脱膜搞好，增透就不好搞，而且镀膜后产品储存要求较为苛刻。要想解决脱膜就表面雾化，雾化程度自行实验吧——雾化程度不影响预期增透效果。希望楼主解决后分享一下

基片加硬才行，刚试过了，总是脱膜，加硬后没有问题

SiO打底200nm，石英环/Ti3O5，4层，离子辅助沉积 1x"S^j   
冷镀不加温，抽一个半小时 ySS kw7  
基片超声波清洗，洗后75°退火2小时 [m}58?0~x  
镀完再退火2小时

dumoty:SiO打底200nm，石英环/Ti3O5，4层，离子辅助沉积 ^T{ww=/v  
冷镀不加温，抽一个半小时 LK?V`J5wY  
基片超声波清洗，洗后75°退火2小时 ,pg\5b  
镀完再退火2小时 (2018-08-09 11:11)  ~@v<B I
 

^<}>]F_  
好繁瑣的過程

换种新膜料,一步搞定膜裂!当然还得退火处理!几种塑料PC PMMA 还有E48R 退火条件有区别!

謝謝分享

看看是什么原因