我们用光驰OTFC-1100机器做的窄带,用间控光控控制,晶控辅助。SiO2,Ta2O5,材料。要求中心
波长在1071nm,半波带宽20nm。
)&ucX 本来是成熟膜系,已经做了有2年时间了,一直很稳定,
0_-P~^A 但是最近出现膜系无规律漂移现象,中心波长或漂移向长波,或短波,漂移距离从4--20nm。
Uf~5Fc1d = 本来出现漂移也是正常现象,但是现在是完全无规律啊,有可能连续3罩次是没有变化的,也有可能是每罩次都不一样。
l_P90zm39! 最开始怀疑是单色仪出问题,也就是控制波长不准确。送厂检测,用厂家来替换的单色仪做了几次,还是一样。
K8h\T4 厂家说可能 是光控托盘有问题,换了一个,还是一样。
{X-a6OQj 其后还做了很多工作,都没有解决问题,
[NbW"Y7 在这里请教各位同行,谁做窄带,或者用光驰机器出现这种情况的是什么原因,怎么解决的?
0*6Q8`I 先谢过啦。