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    [求助]关于极值法控制膜厚 [复制链接]

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    离线矮子lr
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2006-09-05
    初学者,请教各位大侠一个问题: * c%@f<R~  
        在镀制非λ/4双层增透膜时,如采用极值法控制膜厚,在镀第一层和第二层时,是否要改变控制波长?若是,这样上批量时,是否会因为反复调整光栅单色仪控制波长而降低光栅单色仪精度呢?可否在镀制非λ/4双层增透膜时(用光控),不用改变控制波长来控制膜厚呢?若可行的话,请问该怎样做呢?
     
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    离线dinghaiyi
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    只看该作者 1楼 发表于: 2006-09-11
    要改变控制波长
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    离线矮子lr
    实习生
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    只看该作者 2楼 发表于: 2006-09-12
    谢谢dinghaiy给我的回答i,那会影响单色仪的精度吗?
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    离线lingwei104
    实习生
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    只看该作者 3楼 发表于: 2013-07-31
    来学习
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