非球面
光学零件广泛应用于航空机载设备(雷达测距仪)、卫星(先进的光学望远系统、高分辨率的电视摄像系统、高灵敏度的红外传感系统)、
激光制导、红外探测等领域,同时在民用光电产品上的应用更为广泛.
?jx]%n fV 1非球面光学零件的延性方式磨削技术
f5jl$H. 1.1延性方式磨削技术
HU3:6R& 最近,短
波长光学,特别是 x射线光学领域中的研究活动表明, x射线领域的光学元件多采用非球面,并要求零件的形状
精度达到纳米级,表面粗糙度达到埃级,而且越来越多的使用硬脆性材料。这些零件的传统加工方法是磨削加工后,经过研磨、抛光工序,精加工成所需零件,这种方法的生产效率低,加工周期长,不能适应现代生产的需要。作为光学零件的加工,一方面要求精度高,加工表面超光滑,另一方面又要求加工表面没有加工变质层。在这种需求下,就产生了硬脆材料的延性方式磨削,成为超精密加工的一个热点。
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%fS9F^AK \}j MC (摘自《超精密加工与测控技术论文集》1999年第12期 杨福兴 超精密加工技术国防科技重点实验室