等离子体清洗设备的应用
{?mQqoZ?. i+[ 3o@ ^CPfo/! 应用领域： NoO+xLHw8 1、清洗光学器件、电子元件、激光器件、镀膜基片、芯片
8>{W :?I • 清洗光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片
/plUzy2 Yu • 移除光学元件、半导体元件等表面的光阻物质
F!&pENQ • 清洗ATR元件、各种形状的人工晶体、天然晶体和宝石
, imvA5 • 清洗半导体元件、印刷线路板
L{LU@.;1 • 清洗生物芯片、微流控芯片
~J-|,ZMd • 清洗沉积凝胶的基片
/HuYduGdP }#G"!/ZA0: 2、牙科领域：对硅酮压模材料和钛制牙移植物的预处理，增强其浸润性和相容性
&U~r}= uT} TSwgp 3、医用领域：修复学上移植物的表面预处理，增强其浸润性、粘附性和相容性，医疗器械的消 毒和杀菌
T#n1@FgC vif8 {S 4、改善粘接光学元件、光纤、生物医学材料、宇航材料等所用胶水的粘和力
kr(<Y| +z =%89GJ 5、去除金属材料表面的氧化物
s!'A\nVV1$ 8M|)oj H 6、使玻璃、塑料、陶瓷、高聚合物等材料表面活化，增强其表面粘附性、浸润性、相容性
[-t> G!) = /g $bZ 7、高分子材料表面修饰
Yc82vSG' 0O#B'Uu WjrMd #^ 一、金属表面去油及清洁
= *g$#l4 pTALhj#, 金属表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层，在进行溅射、油漆、粘合、健合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。 在这种情况下的等离子处理会产生以下效果：
2]} Uov }utNZhJ 1.1灰化表面有机层
P$3=i`X!nw －表面会受到化学轰击
hO/5>Zv? －在真空和瞬时高温状态下，污染物部分蒸发
gXu^" －污染物在高能量离子的冲击下被击碎并被真空带出
}11`98>B6: －紫外辐射破坏污染物
:Jeo_ }e 0 因为等离子处理每秒只能穿透几个纳米的厚度，所以污染层不能太厚。指纹也适用。
f5aF6FBH $}nh[@ 1.2氧化物去除
x$n~f:1Y 金属氧化物会与处理气体发生化学反应
=~hsKBt* 这种处理要采用氢气或者氢气与氩气的混合物。有时也采用两步处理工艺。第一步先用氧气氧化表面5分钟，第二步用氢气和氩气的混合物去除氧化层。也可以同时用几种气体进行处理。
c',:@2R +^*5${g;@H 1.3焊接
{@V3?pG?p 通常，印刷线路板在焊接前要用化学助焊剂处理。在焊接完成后这些化学物质必须采用等离子方法去除，否则会带来腐蚀等问题。
Aw4?y[{H t @(9ga( 1.4键合
l#b|@4:I 好的键合常常被电镀、粘合、焊接操作时的残留物削弱，这些残留物能够通过等离子方法有选择地去除。同时氧化层对键合的质量也是有害的，也需要进行等离子清洁。
WBr:|F+~s >7nV$.5S 二、等离子刻蚀
abo>_ "9- *`ZB+ \* 在等离子刻蚀过程中，通过处理气体的作用，被刻蚀物会变成气相（例如在使用氟气对硅刻蚀时）。处理气体和基体物质被真空泵抽出，表面连续被新鲜的处理气体覆盖。不希望被刻蚀部分要使用材料覆盖起来（例如半导体行业用铬做覆盖材料）。
VyWYfPK 等离子方法也用于刻蚀塑料表面，通过氧气可以灰化填充混合物，同时得到分布分析情况。刻蚀方法在塑料印刷和粘合时作为预处理手段是十分重要的，如POM 、PPS和PTFE。等离子处理可以大大地增加粘合润湿面积。
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f2r 三、刻蚀和灰化
=_RcoG/^~ J q$_=X& PTFE刻蚀
,\lY Px\P[ PTFE在未做处理的情况下不能印刷或粘合。众所周知，使用活跃的碱性金属可以增强粘合能力，但是这种方法不容易掌握，同时溶液是有毒的。使用等离子方法不仅仅保护环境，还能达到更好效果。
VW9 >xVd4 等离子结构可以使表面最大化，同时在表面形成一个活性层，这样塑料就能够进行粘合、印刷操作。
a|Q E *s. xHJ8?bD p PTFE混合物的刻蚀
.Iw ur;/\ PTFE混合物的刻蚀必须十分仔细地进行，以免填充物被过度暴露，从而削弱粘合力。
:}@C9pqr2 dG\U)WA(p 处理气体可以是氧气、氢气和氩气。可以应用于PE、PTFE、TPE、POM、ABS和丙烯。
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N QqiJun_m 四、塑料、玻璃和陶瓷的表面活化和清洁
id;#{O $ 1Xy8|OFc[ 塑料、玻璃、陶瓷与聚丙烯、PTFE一样是没有极性的，因此这些材料在印刷、粘合、涂覆前要进行处理。同时，玻璃和陶瓷表面的轻微金属污染也可以用等离子方法清洁。等离子处理与灼烧处理相比不会损害样品。同时还可以十分均匀地处理整个表面，不会产生有毒烟气，中空和带缝隙的样品也可以处理。
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~e • 不需要用溶剂进行预处理
B;Xoa, • 所有的塑料都能应用
)bLGEmm • 具有环保意义
A%B gp?B • 占用很小工作空间
A*8m8Sh$ • 成本低廉
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x^PT 等离子表面处理的效果可以简单地用水来验证，处理过的样品表面完全被水润湿。长时间的等离子处理（大于15分钟），材料表面不但被活化还会被刻蚀，刻蚀表面具有最大润湿能力。常用的处理气体为：空气、氧气、氩气、氩氢混合气体、CF4等
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Dt8!p0 fJN*s ,3 Wb4so b7B+eN ?z 五、等离子涂镀
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4,|6 聚合
0xJ7M. 在涂镀中两种气体同时进入反应舱，气体在等离子环境下汇聚合。这种应用比活化和清洁的要求要严格一些。典型的应用是保护层的形成，应用于燃料容器、防刮表面、类似PTFE材质的涂镀、防水涂镀等。涂镀层非常薄，通常为几个微米，此时表面的亲和力非常好。 常用的有3种情况
4_PCq Ep) • 防水涂镀—环己物
Ih.rC>)rx • 亲水涂镀---乙烯醋酸
*16 <M)7 • 类似PTFE材质的涂镀---含氟处理气体
aUH\Ee^M:R 0QMTIAW6h (I-<f$3 欢迎大家来电咨询交流,索取详细资料。 _o m0
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