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[下载]超广角大工作面f-theta镜头的光学设计 [复制链接]

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离线HAHA^_^

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只看楼主正序阅读楼主发表于: 2014-03-16

关键词：广角镜头光学设计

摘要：目前国内用于激光标刻机的f-theta镜头的视场角一般小于60°。采用望远镜结构，利用视觉放大率增大视场角，得到了超广角90°镜头。该方法具有简洁、可靠、易实现等特点。通过初级像差分析，确定系统的初级结构参数，利用ZEMAX软件优化得到了大工作面为Φ285mm的f-theta镜头，镜头线性畸变误差值不超过1%，在半径为698μm的圆内，能量集中度为80%，聚焦性能接近衍射极限。

关键词：光学设计；超广角f-theta镜头；初级像差理论；激光打标；ZEMAX