对于AT切割晶振片,冷却水温度一般在20几度。 Fy_D[g
正常流量情况下, SJ4[n.tPI
冷却水温度过低, 则晶振片上膜层应力大,不利于镀厚膜。 t/xWJW2
冷却水温度过高,虽可镀膜厚增加,但晶振片温度高,导致进入较大的温度频率效应区域,厚度精度将下降。 L}r#KfIb
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上海膜林科技有限公司的XDM-3K晶控仪能实时监测晶振片的损耗,膜层应力对此值影响较大。 $< &N#
另一方面,XDM-3K有额外付费的厚度补偿功能,正是为了补偿温度效应带来的厚度计算偏差。 !Wn^B|