luffy17520:设计镀100nm 实际只有80nm 那就镀少了,tooling=100/80
(2020-03-19 16:09)
"18cD5-#
F6+4Yy+ 晶控仪比例因子(tooling)定义中,分子分母很容易记混。
rJ6N'vw> 定义
&wkbr2P T = 样品膜层厚度/晶控膜层厚度 * 100%
!{g>g%2! 修正时
W ,]Ua] T2 = T1 * 样品膜层厚度/设计厚度
K}whqe]j &t6SI' 呵呵,膜林晶控仪把这两个式子印在材料参数的比例因子(tooling)旁边,提醒。
H~ >\HV* M4d4b 另一个容易记混的,调大比例值,样品膜层厚度会变薄 不是变厚,其实代入式子2就会知道。
3Dj>U*fP 反过来说,
FiXE0ZI$0q 如果发现波长长了,即样品膜层厚了,比例要调大(如果仅仅是比例因子的问题的话)。
nU2w\(3| 如果发现波长短了, 薄 小 。