luffy17520:设计镀100nm 实际只有80nm 那就镀少了,tooling=100/80
(2020-03-19 16:09)
Vs07d,@w>
Y
=`3L 晶控仪比例因子(tooling)定义中,分子分母很容易记混。
}#E4t3 定义
4-3B" T = 样品膜层厚度/晶控膜层厚度 * 100%
(V=lK6WQm 修正时
Nr(WbD[T T2 = T1 * 样品膜层厚度/设计厚度
W8":lpp *$l8H[ 呵呵,膜林晶控仪把这两个式子印在材料参数的比例因子(tooling)旁边,提醒。
x!YfZ* ;[9cj&7C< 另一个容易记混的,调大比例值,样品膜层厚度会变薄 不是变厚,其实代入式子2就会知道。
z6{0\#'K 反过来说,
`H+Eo<U 如果发现波长长了,即样品膜层厚了,比例要调大(如果仅仅是比例因子的问题的话)。
4G`YZZQ 如果发现波长短了, 薄 小 。