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如何计算材料的折射率
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如何计算材料的折射率
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kevin980828
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楼主
发表于: 2005-09-03
在蒸镀过程中材料的折射率怎样能够准确算出,我知道折射率跟真空度.沉积速率.充氧量有关,其它的还有吗?那如何计算,如TiO2.SiO2.Os50.SiO.ZrO2等,请各位大侠指教.谢谢!!!
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flyinlove79
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发表于: 2005-09-04
蒸度镀过程中适时手动计算材料的折射率比较困难啊,个人认为必须测准适时的膜层厚度和反(透)射率,或者是在极值点处的反(透)射率,再利用公式进行计算,但感觉不怎么实用。现在的镀膜设备,已经可以自动计算并显示出适时的折射率了。
I).=v{@9V<
折射率还和基片温度,沉积角度,膜层的微观结构有关。
h1n*WQ-
折射率测量一个是用椭偏仪直接测量,一个是用分光光度计测单层膜在奇数个极值厚度处的反(透)射率,再用公式计算的间接测量。
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wendzb
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2楼
发表于: 2006-01-05
能详细说下单层膜在奇数个极值厚度处透射率用公式计算的间接测量的过程么??
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wangda
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3楼
发表于: 2006-04-06
就是就是,知道的,与大家分享一下啊
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tangzs
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4楼
发表于: 2006-05-05
镀个较厚一点的单层膜,根据极值点(膜比基底折射率高的看极小值,膜比基底折射率低的看极大值,并且选取长波段的极值点,因为在长波段折射率色散小)估算出膜层的折射率,该点的反射率,根据薄膜光学原理,相当于单个四分之一光学厚度的膜厚(单层四分之一光学厚度的薄膜等效折射率为n^2/ng,n为膜的折射率,ng为基底折射率)的反射率。算出折射率后,再判断极值级次,根据这个级次就可算出膜厚。现在举一例子加深理解。
59&T