光刻光学码盘、码尺、分划板、标尺、光栅、镀盘、鉴别率板等

本公司美国光刻图形发生器利用光刻正胶或负胶，在感光板上制作用于加工集成电路的高精度、高品质掩膜版，也可根据需求制作优质的光学码盘、码尺、分划板、标尺、光栅、镀盘、鉴别率板等精密光学零件的母板和任意图形。 E:`_P+2p  
光刻机性能参数： ZayJllaq^  
      可加工最小线宽：    直接光刻 2.5 微米；重复步进  1 微米 ^EIuGz1@0  
      最大加工范围：      152毫米 ×  220毫米 f2.=1)u.  
      定位精度：            0.38微米
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      最小可控制增量：    0.1微米 N
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