切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    123456...19下一页
    到第
    页
    • 31112阅读
    • 183回复

    [分享]光刻机照明系统设计 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线hhxxgg00
    论坛版主
     
    发帖
    1470
    光币
    13169
    光券
    0
    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2013-04-02
    随着微电子产业的迅猛发展，我国迫切需要研制极大规模集成电路的加工设备-光刻机。曝光波长为 193nm 的投影式光刻机因其技术成熟、曝光线宽可延伸至 32nm 节点的优势已成为目前光刻领域的主流设备。照明系统是光刻机的重要组成部分，其主要作用是提供高均匀性照明、控制曝光剂量和实现离轴照明，以提高光刻分辨率和增大焦深。论文以深紫外光刻照明系统光学设计为研究方向，对照明系统关键单元进行了光学设计与仿真研究。 xW,(d5RtZ  
    ZCMB]bL-e  
    CAJ文件 5Ffz^;i  
    长光机博士论文 O/\jkF  
    附件设置隐藏，需要回复后才能看到
     
    这个时代，每个人都在大声说话，每个人都在争分夺秒。我们用最快的速度站上高度。但是也在瞬间失去态度。当喇叭声遮盖了引擎声，我们早已忘记，谦谦之道才是君子之道。你问我这个时代需要什么，在别人喧嚣的时候安静，在众人安静的时候发声。不喧哗，自有声。
    回复
    举报
    分享到
    离线街灯以北
    实习生
    发帖
    2
    光币
    5
    光券
    0
    只看该作者 183楼 发表于: 03-06
    顶一下
    回复
    举报
    离线ioash
    实习生
    发帖
    15
    光币
    5
    光券
    0
    只看该作者 182楼 发表于: 03-03
    好资料，学习一下。
    回复
    举报
    在线ning_1
    技术员
    发帖
    32
    光币
    261
    光券
    0
    只看该作者 181楼 发表于: 03-03
    刚好在做均匀照明，学习学习 %TG$5' )0  
    回复
    举报
    离线zzzzzzc
    实习生
    发帖
    45
    光币
    63
    光券
    0
    只看该作者 180楼 发表于: 02-27
    长光所，顶一下
    回复
    举报
    离线旺旺雪饼
    实习生
    发帖
    18
    光币
    0
    光券
    0
    只看该作者 179楼 发表于: 01-18
    看一看
    回复
    举报
    离线hit_xdx
    实习生
    发帖
    33
    光币
    63
    光券
    0
    只看该作者 178楼 发表于: 01-15
    看看，谢谢楼主
    回复
    举报
    离线raja
    实习生
    发帖
    199
    光币
    2
    光券
    0
    只看该作者 177楼 发表于: 01-08
    了解学习一下
    回复
    举报
    离线huodayun
    实习生
    发帖
    2
    光币
    23
    光券
    0
    只看该作者 176楼 发表于: 2024-10-24
    马上从事该行业，学习一下
    回复
    举报
    离线michaelcuic
    实习生
    发帖
    30
    光币
    45
    光券
    0
    只看该作者 175楼 发表于: 2024-10-21
    看一下
    回复
    举报
    发帖 回复
    返回列表
    123456...19下一页
    到第
    页