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    [讨论]影响光洁度的多个因素 [复制链接]

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    离线拉比熊
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2013-01-14
    小弟做镀膜不久，曲线什么都好调整，但是就是光洁度不行，请问大家应该从哪些方面来考虑? 谢谢！！！
     
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    离线fj6888
    实习生
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    只看该作者 1楼 发表于: 2013-01-20
    真空室、离子源、电子枪、膜料
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    离线jingjing520
    实习生
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    只看该作者 2楼 发表于: 2013-01-22
    楼上回答的挺全面了 从这些工艺参数 里找原因
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    离线a060103112
    实习生
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    只看该作者 3楼 发表于: 2013-02-27
    有些基板材料本身就有吸附灰尘的特性，静电原因
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    离线louyc
    实习生
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    只看该作者 4楼 发表于: 2013-05-21
    说的都不错
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    离线jiangguang
    助理工程师
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    只看该作者 5楼 发表于: 2013-06-15
    其实 让预抽的时间长一点 能改善很多
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