我公司新买台 光驰 GENER1300真空镀膜机，只有晶控没有配光控。问下各位这种配置最多能稳定镀多少层膜。 p}X *HJq$
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现在有个问题请教一下，电子枪挡板打开后，成膜速度过快，速度冲到设定值的140%，然后慢慢下降，经过30秒左右后能稳定在设定值左右。我怀疑是成膜速率的PID设定有问题，具体数为： 请各位帮忙分析下 < si
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名称 速率 控制方式 GAIN primary time dead time max power min power l)EtK&er(}
MGF2 6.5 PID 3 0.01 0.1 10% 0 : ' pK
AL2O3 6.7 PID 1 0.01 0.1 50% 3.0 z38Pi
H4 7.1 PID 1 0.01 0.1 50% 3.0 ;^)4u
M2 8.6 PID 1 0.01 0.1 50% 3.0
