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光驰机 只有晶控 请各位大侠帮忙解决个问题!
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光驰机 只有晶控 请各位大侠帮忙解决个问题!
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ken_jinyan1
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发表于: 2012-11-12
关键词:
光驰机
晶控
电子枪
我公司新买台 光驰 GENER1300真空
镀膜
机,只有
晶控
没有
配光
控。问下各位这种配置最多能稳定镀多少层膜。
^|6%~jkD5
+w-UK[p
现在有个问题请教一下,
电子
枪
挡板打开后,成膜速度过快,速度冲到设定值的140%,然后慢慢下降,经过30秒左右后能稳定在设定值左右。我怀疑是成膜速率的PID设定有问题,具体数为: 请各位帮忙分析下
)$/Gh&1G
n%w36_
名称 速率 控制方式 GAIN primary time dead time max power min power
um@RaU
MGF2 6.5 PID 3 0.01 0.1 10% 0
x@F"ZiYD@O
AL2O3 6.7 PID 1 0.01 0.1 50% 3.0
b9[KdVsT6^
H4 7.1 PID 1 0.01 0.1 50% 3.0
K?_4|
M2 8.6 PID 1 0.01 0.1 50% 3.0
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zhongjiagang
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21楼
发表于: 2021-02-08
你这PID太离谱了
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morningtech
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20楼
发表于: 2018-05-06
初始速率过冲是常见问题。
rMqWXGl`(
最大原因是频率温度效应, 解决方法 跟 预熔、PID、控制延迟设置都有关系。
\%9,<-~[
7-+X -Y?
上海膜林科技有限公司,专业膜厚控制方案提供商, MXC-3晶控仪,可以完美替代某机台中的晶控仪。 其中的最大功率延迟项参数,可基本解决速率过冲。
6Flc4L8JU
可去公司网站,下载相关资料。百度。
v709#/cR
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duofoldniep
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19楼
发表于: 2018-04-09
不知道问题解决了没有
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突然好想你
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18楼
发表于: 2015-04-04
但是很值得的,,
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crl0129
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17楼
发表于: 2013-11-21
蒸镀材料的预熔功率电流设定过高,电子束光斑调的太小,蒸发速率设置过低,晶振片污染等等,都可能造成!!
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luffy17520
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16楼
发表于: 2013-11-21
看坩埚数把,我这里也是晶控的 ,一个电子枪,最多一次镀了32层的高反膜。
}S3m wp<Y
速度太快,该下maxpower和增益,还有起始电流大小吧
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pc030319
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15楼
发表于: 2013-11-16
可以试着改一下PID参数,感觉值都调的很小的时候速率波动比较大
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ken_jinyan1
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14楼
发表于: 2013-08-29
哦,水晶片的TOOLING 是200%,
ZU7e1VaZM
是不是实际速率要除以2? 除完后速率就差不多了吧。
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zhubinyz
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13楼
发表于: 2013-05-27
你膜料的蒸镀速度有点高
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