[求助]光驰机 只有晶控 请各位大侠帮忙解决个问题！ [复制链接]

我公司新买台 光驰 GENER1300真空镀膜机，只有晶控没有配光控。问下各位这种配置最多能稳定镀多少层膜。 f4;V7DJ  
Z'~/=a)7  
现在有个问题请教一下，电子枪挡板打开后，成膜速度过快，速度冲到设定值的140%，然后慢慢下降，经过30秒左右后能稳定在设定值左右。我怀疑是成膜速率的PID设定有问题，具体数为：  请各位帮忙分析下 A'aYH`j  
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名称    速率    控制方式     GAIN         primary  time      dead time     max power         min  power XUVBD;"f!  
MGF2   6.5         PID             3                      0.01               0.1                  10%                   0 uCHM  
AL2O3  6.7        PID             1                      0.01                0.1                  50%                  3.0 MK.TBv  
H4         7.1        PID              1                     0.01                 0.1                  50%                  3.0 b5)1\ANq  
M2        8.6        PID               1                    0.01                  0.1                  50%                  3.0

你这PID太离谱了

初始速率过冲是常见问题。 6?';ip  
最大原因是频率温度效应， 解决方法 跟 预熔、PID、控制延迟设置都有关系。 G;e)K\[J  
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上海膜林科技有限公司，专业膜厚控制方案提供商， MXC-3晶控仪，可以完美替代某机台中的晶控仪。 其中的最大功率延迟项参数，可基本解决速率过冲。 JSoInR1E  
可去公司网站，下载相关资料。百度。 xB_78X1  

不知道问题解决了没有

但是很值得的，，

蒸镀材料的预熔功率电流设定过高，电子束光斑调的太小，蒸发速率设置过低，晶振片污染等等，都可能造成！！

看坩埚数把，我这里也是晶控的 ，一个电子枪，最多一次镀了32层的高反膜。 ^?V9  
速度太快，该下maxpower和增益，还有起始电流大小吧

可以试着改一下PID参数，感觉值都调的很小的时候速率波动比较大

哦，水晶片的TOOLING 是200%， 50CjH"3PZ`  
是不是实际速率要除以2？ 除完后速率就差不多了吧。

你膜料的蒸镀速度有点高