我公司新买台 光驰 GENER1300真空镀膜机,只有晶控没有配光控。问下各位这种配置最多能稳定镀多少层膜。 w4Uo-zr@
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现在有个问题请教一下,电子枪挡板打开后,成膜速度过快,速度冲到设定值的140%,然后慢慢下降,经过30秒左右后能稳定在设定值左右。我怀疑是成膜速率的PID设定有问题,具体数为: 请各位帮忙分析下 HJi
FlL3
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名称 速率 控制方式 GAIN primary time dead time max power min power l\/uXP?
MGF2 6.5 PID 3 0.01 0.1 10% 0 a'%eyN
AL2O3 6.7 PID 1 0.01 0.1 50% 3.0 B,q)<z6<
H4 7.1 PID 1 0.01 0.1 50% 3.0 zv-9z
M2 8.6 PID 1 0.01 0.1 50% 3.0