[求助]光驰机 只有晶控 请各位大侠帮忙解决个问题！ [复制链接]

我公司新买台 光驰 GENER1300真空镀膜机，只有晶控没有配光控。问下各位这种配置最多能稳定镀多少层膜。 ~!8%_J_  
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现在有个问题请教一下，电子枪挡板打开后，成膜速度过快，速度冲到设定值的140%，然后慢慢下降，经过30秒左右后能稳定在设定值左右。我怀疑是成膜速率的PID设定有问题，具体数为：  请各位帮忙分析下 A)hq0FPp  
U(rr vNt:t  
名称    速率    控制方式     GAIN         primary  time      dead time     max power         min  power IUluJ.sXIf  
MGF2   6.5         PID             3                      0.01               0.1                  10%                   0 V<7R_}^_7  
AL2O3  6.7        PID             1                      0.01                0.1                  50%                  3.0 fKPiRlLS  
H4         7.1        PID              1                     0.01                 0.1                  50%                  3.0 !T<z'zZU  
M2        8.6        PID               1                    0.01                  0.1                  50%                  3.0

这种机台不要光控就可以，我们20台这种镀膜机倒是都配了光控，就没怎么用。晶振片的寿命用到5985以上就OK，如果要求比较严格，用到5990就不要用了。我们现在主要镀增透膜，8层没有问题，之前我用这种机台镀过40层的IR，分两次镀，也可以。速率的话它就有这毛病，不过好像没有你说的冲到140%的现象。你刚买的机台，它有时候还会有速率突然冲到几百，也有突然变为负数的情况，晶控的保养很重要，要避免接触不良。

你把熔料是功率降低点

造成这种情况的原因可能是 熔料最后的电流设定过高造成的。  熔料电流我都是按照老机器的程序设定的，可能存在新机器电流比较猛的原因。 ^>,<*p  
我们这台机器也是镀增透膜，最多镀9层。我们晶振片新的频率是5991左右，频率用到5980换。 +zFV~]b  
工件盘温度设定300度，侧壁150度。镀到40-50锅的时候，有时会出现光学曲线整体左移的情况。 pRQfx^On  
内壁清洁后，故障消除。  总体感觉新机器的真空室脏的快，膜料与真空壁铝箔的吸附不牢固。

ken_jinyan1:造成这种情况的原因可能是 熔料最后的电流设定过高造成的。  熔料电流我都是按照老机器的程序设定的，可能存在新机器电流比较猛的原因。 Ww'TCWk@  
我们这台机器也是镀增透膜，最多镀9层。我们晶振片新的频率是5991左右，频率用到5980换。 u/!mN2{Rd  
工件盘温度设定300度，侧壁150度。镀到40 .. (2013-02-13 11:48)  hSx+{4PZ  

9z|>roNe  
左移？我这的机器，会慢慢的右移。

无论什么移都算正常吧，如果不移倒不正常了，机器没那么稳定，再说，材料熔化后蒸发时的高度也有可能不一样呀  0'V-  

看看学学

应该不是什么问题

这两天试了不同厂家的试料。混合试料的电子枪电流差别比较大。以M2为例相差能达到 E]eqvTNH  
50mA以上。 电流不同可能还会影响充O2量。

你膜料的蒸镀速度有点高