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andyhuang
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发表于: 2012-10-21
1,光驰
镀膜
机(光控式的)镀
滤光片
真的很准确,半年后再用同一程式镀出来的分光没什么变化的。 但现在要请教一下各位师傅了,光驰机的输入
程序
软件
是EXCEL格式的,监控方式是LightRatioPeak,光控方式的
光学
厚度(如要镀多少上nm)和它的目标光量值是怎么计算出来的?有什么软件可以转换出来吗? 2,本人设计软件一直都是用TFC,MACLEOD工只会一般的
物理
厚设计,没搞过转换,以前一直用晶控监控,物理厚度写入的,没用过光学厚度写入,也不会,所以诚心请教各位大侠了!!谢谢
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yzhuang
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发表于: 2012-10-24
发信给我,教你!
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2楼
发表于: 2012-10-26
我搞镀膜9年了,有什么问题可以联系我280870377
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3楼
发表于: 2012-12-30
用MacLeod的话 把你的设计文件dds导出一个runsheet文件 光控的话选择波长范围最好是400nm-1100nm 理论上光控片一个点单层上的极值数越少精度越高,一般一个点只用两层。 光量在5%-95%之间精度越高,超过这个范围监控精度会低,,光控的波长选择尽量用同一波长监控连续的多个膜层,减少光度计的波长变化对机器的损耗有所降低
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jiangguang
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4楼
发表于: 2012-12-31
光控要输入厚度吗?不是极值到了就按停止键么。。
2C1NDrS;}
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拉比熊
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5楼
发表于: 2013-01-13
其实用TFC时可以导出来的
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a060103112
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6楼
发表于: 2013-02-27
这个可以帮你解决,怎么计算太复杂,你得到学校去学;转换倒是有软件,此为截图,最后一列就是转换后的目标光量
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拉比熊
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7楼
发表于: 2013-03-16
有事可联系我
178261994@qq.com
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luffy17520
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8楼
发表于: 2013-04-12
使用光控的话不建议用厚度镀。一般规整膜系 存在镀厚度。
cJv/)hRaz
实在要用的话就是Macleod的厚度为准,毕竟tooling值在里面
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ken_jinyan1
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9楼
发表于: 2013-04-25
楼主的问题,我也想知道。
\wk;Bo
光驰机,光控模式,要输入起始光量、控制波长、极值点和目标值。
Eu:/U*j
现在TFC上有物理膜厚也有光学膜厚,就是不知道怎么转换的。
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