1 超精密光学镜面铣床 产品系列（SQUARE80/200/300）
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机床特点： o9I=zAGjy a=n* }. ■ 机床主轴及工作台均采用空气静压技术，几何精度高，运动灵敏、平稳；
_Q)rI%A2 Z BY FQTEE ■ 机床采用专门可靠的传动机构，保证用户良好使用；
oPP`)b$x -\=s+n_ZP? ■ 机床结构符合人机工程学原理，方便对刀及操作；
cQM_kV??! WbF[4 x ■ 机床具备较强的扩展功能，用户可根据需要特殊订购。
/G*]3=cSe k# -u!G 机床可以增补如下功能：
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1 选配专用数控系统，完成纳米级运动；
S9\_OD v YU >NGC]}d 2 选配高精度分度工作台，完成多面体棱镜加工；
.8[*`%K> w) xiiO[ 3 选配专用镗刀及夹具，完成固定孔位的内孔高精度镗削加工；
]J|] IP Xy vH14%&OcN 4 选配专用的微调刀架，可以完成车削加工。
>~_oSC)E 4Wsp PHj ■ 根据用户工件的不同，可为用户进行专用工装夹具的选配及工艺设计。
>+}yI}W;e )>-94xx| 机床精度技术指标： f%#q}vK- =(] yl_ 内 容 SQUARE-80 SQUARE-200 SQUARE-300
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L'k 主轴回转精度 轴向跳动0.1μm 轴向跳动0.05μm 轴向跳动0.05μm
_m0 B6?KJ 径向跳动0.1μm 径向跳动0.05μm 径向跳动0.05μm
dV/ ^@[ ULT,>S6r X轴运动分辨率 1μm 0.1μm 0.1μm
Xg <R+o nC6 ;:uM Z轴运动分辨率 1μm 0.1μm 0.1μm
xlKg0 &D ~;)H |R5kV X方向行程 80mm 200mm 400mm
/Py1Q {KQ]"a 6 Z方向行程 50mm 100mm 200mm
I= '6>+P ]7|Z s]6 主轴中心距工作台表面高度 80mm 200mm 300mm
{wK| C<K a+!r5689 刀具回转直径 Φ90mm Φ300mm Φ560mm
C3k[ipCN NC @L,)F 加工工件材料 有色金属（无氧铜、铝等）
%p; 'l H;D C kVL 加工工件的表面粗糙度 Ra0.01μm
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增强型功能配置 eN,6p '& q$iGeE# ■车、铣转换功能，可以加工球面及非球回转曲面，如抛物面等
H{1'OC yiO/0n Mp ■ 纳米级运动分辨率接口，可实现纳米级运动
]=Tle&yM+T V'M# ."Of/ bI?uV ; m> （厂商：北京机床所精密机电有限公司）
