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    [分享]150mm菲索干涉仪球面标准具结构分析与设计 [复制链接]

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    离线菲索干涉
    助理工程师
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2012-07-13
    菲索干涉仪器球面标准镜参考文献，很不错的说。 g[4pG`z  
    DxoW,G W  
    摘 要：在高精度的光学元件面形检测中,为了保证检测的精度,必须对高精度菲索干涉仪的标准镜的自重和温度变形进行严格地控制。针对高精度菲索干涉仪标准镜的精度要求, 设计了一种新的标准镜装卡结构。采用有限元方法分析了标准镜在胶接方式下的表面变形情况,参考面表面变形峰谷( PV)值仅为9. 6nm , 均方根( RMS) 值为2. 1nm。同时对不同环境温度下参考面的变形进行了计算得出面形的峰谷值和均方根值。最后介绍球面标准具的装配过程。 QY|Rz(;m  
    >cJfD9-<h  
    关 键 词：应用光学；菲索干涉仪；标准镜；镜面支承；有限元法
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    共1条评分 ，光币+5
    cyqdesign 光币 +5 - 2012-07-13
     
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    离线wanghw
    实习生
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    只看该作者 94楼 发表于: 2024-08-02
    学习学习
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    离线yk024
    助理工程师
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    只看该作者 93楼 发表于: 2024-08-01
    看看需要做到什么尺度
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    离线一生何求
    实习生
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    只看该作者 92楼 发表于: 2024-07-14
    路过看看怎么样
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    离线foxtstorm
    技术员
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    只看该作者 91楼 发表于: 2024-04-26
    学习一下 (h"-#q8$  
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    离线huibianweiwu
    实习生
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    只看该作者 90楼 发表于: 2023-09-08
    学习学习来来来
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    离线jiajingang
    实习生
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    只看该作者 89楼 发表于: 2023-08-03
    9.6nm，这么小，太厉害了
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    离线谭健
    科学家
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    只看该作者 88楼 发表于: 2023-07-01
    学习学习
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    离线不懂的很多
    实习生
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    只看该作者 87楼 发表于: 2023-06-30
    学习一下 .P#t"oW}  
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    离线ljc751934038
    实习生
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    只看该作者 86楼 发表于: 2022-08-13
    想问一下分光部分用的是分光板还是分光棱镜
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