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    [求助]关于镀膜设备的问题 [复制链接]

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    离线白开水
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2012-03-08
    打开扩散泵后发现里面有很多像砂子一样的东西，是油的质量不好还是蒸发室的膜料被抽到扩散泵了？哪位高人给我分析一下？我们用的是高真空硅油。
     
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    离线yzhuang
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    只看该作者 1楼 发表于: 2012-03-13
    膜料的可能性较大，但是我觉得不影响扩散泵的功用。
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    离线tomysmith68
    实习生
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    只看该作者 2楼 发表于: 2012-03-27
    这些一部分是真空室里的空气灰尘，还有一部分是膜料，经过长时间的高温后，被碳化了，所以看上去像砂子，在正常使用时不太会影响真空速度，但是每年必须清理一次。
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