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    [讨论]折叠式光刻物镜 [复制链接]

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    离线phoenixzqy
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2012-02-14
    在原有光刻物镜专利的基础上,对物镜进行了简化和修改,留出了添加反射镜的空间,实现了光路的折叠。
     
    2024年6月28-30日于上海组织线下成像光学设计培训,欢迎报名参加。请关注子在川上光学公众号。详细内容请咨询13661915143(同微信号)
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    离线phoenixzqy
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    只看该作者 1楼 发表于: 2012-02-14
    帮一学生做的光路模拟。
    2024年6月28-30日于上海组织线下成像光学设计培训,欢迎报名参加。请关注子在川上光学公众号。详细内容请咨询13661915143(同微信号)
    离线phoenixzqy
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    只看该作者 2楼 发表于: 2012-03-27
    双远心光路!
    2024年6月28-30日于上海组织线下成像光学设计培训,欢迎报名参加。请关注子在川上光学公众号。详细内容请咨询13661915143(同微信号)
    离线hoxomo
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    只看该作者 3楼 发表于: 2012-08-31
    4:1的?
    离线phoenixzqy
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    只看该作者 4楼 发表于: 2012-08-31
    回 hoxomo 的帖子
    hoxomo:4:1的?(2012-08-31 17:47)嬀/color] ToM1#]4  
    :pvB}RYD  
    差不多。从图上能看出来的。
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    离线phoenixzqy
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    只看该作者 5楼 发表于: 2012-09-27
    欢迎交流 合作
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    离线hoxomo
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    只看该作者 6楼 发表于: 2012-09-28
    NA 多少? ;$3e pP  
    离线phoenixzqy
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    只看该作者 7楼 发表于: 2012-09-28
    回 hoxomo 的帖子
    hoxomo:NA 多少? \H 5t-w=  
    (2012-09-28 15:57)嬀/color] ),H1z`c&I  
    \F)WUIK  
    专利未修改之前,NA不到0.1; t ?05  
    Y=,9M  
    图中这个系统的设计要求是0.03~0.04.。
    2024年6月28-30日于上海组织线下成像光学设计培训,欢迎报名参加。请关注子在川上光学公众号。详细内容请咨询13661915143(同微信号)
    离线ilyhairpin
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    只看该作者 8楼 发表于: 2012-09-30
    貌似很复杂
    离线ilyhairpin
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    只看该作者 9楼 发表于: 2012-09-30
    貌似很复杂哎