[讨论]折叠式光刻物镜 [复制链接]

看看了

bruce45:看看了(2013-02-04 12:12)嬀/color] :,C%01bH|l  

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欢迎讨论！

请问 您主要从哪些方面来评价像质的呢？ zv9MHC &  
您的设计指标中 对像质是如何要求的？ QE6E
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另外NA不到0.1是指物方的么？还是像方？

darkwzj:请问 您主要从哪些方面来评价像质的呢？ Q;Q%SI`yT  
您的设计指标中 对像质是如何要求的？ PM8Ks?P#u  
另外NA不到0.1是指物方的么？还是像方？ (2013-04-17 20:43)  ;raz6DRO  

HIsB|  
像质的评价标准就那么几个。点列图 mtf   或者可以看一下psf ;Na^]32  
这个系统时要做到衍射极限的，看点列图没太大意义。看mtf和衍射极限就行了。 Nr%(2[$ =  
na我也记不清楚是哪方的了。很早之前做的了

phoenixzqy:像质的评价标准就那么几个。点列图 mtf 或者可以看一下psf &S<?07Z  
这个系统时要做到衍射极限的，看点列图没太大意义。看mtf和衍射极限就行了。 Y 5Qb4Sa  
na我也记不清楚是哪方的了。很早之前做的了(2013-04-17 20:48)嬀/color] qx Wgt(Os  

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感谢回答~

darkwzj:感谢回答~ (2013-04-17 21:29)  eA~J4k_  

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学习学习~

瞎搞的，帮一个学生做的。

学习下，谢谢        

好帖子，学习了