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    [求助]有没有可能在一块玻璃基底上分区镀膜 [复制链接]

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    离线zmyaction
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2011-12-31
    求教： "L&84^lmf  
           把一块玻璃基底的一个光学表面划分为左右两部分（不是物理切断），两部分分别镀膜，比如左边镀A膜,右边镀B膜，并要求A膜与B膜过渡间隔<50um. %Xe 74C"  
           能不能，或者有什么办法可以做到呢？ `DS7J\c$  
           用机械挡可以吗？我担心膜料原子在基底表面的迁移运动会扩散到遮挡物下面，致使两膜层间隔模糊不清，并且过渡间隔将远大于50um。 ngOGo =  
           不知有没有朋友有更好的建议。
     
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    离线12511895
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    只看该作者 1楼 发表于: 2011-12-31
    你要镀的是什么膜啊？？能不能说说啊！！！才能回答你的问题啊！！！两者之间的镀膜要求啊！！
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    离线lsx2525
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    只看该作者 2楼 发表于: 2012-01-28
    用掩膜应该可以做。但是掩膜和基片之间的距离要尽量的紧贴。
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    离线yzhuang
    论坛版主
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    只看该作者 3楼 发表于: 2012-02-05
    这么高的要求，没做过，镀两种膜是做过的，但是允许误差是1毫米左右的。
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    离线伏龙之
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    只看该作者 4楼 发表于: 2012-02-25
    先镀A膜，涂一般加50NM的光刻胶后再刻蚀，再镀B膜再刻蚀
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    离线r58001105
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    只看该作者 5楼 发表于: 2012-02-28
    有方式可以達到你的要求,而且線寬可以更小,但是要看你的後援 Id=V\'$o  
    因為我曾經在同一片玻璃上鍍4~5種膜,但是加工程序很花錢
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    离线天涯若比
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    只看该作者 6楼 发表于: 2012-04-27
    楼主具体想做哪两种？可联系QQ:277955946，可以给你试试。
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