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    [求助]请问镀膜设备如何保养？ [复制链接]

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    离线peterwei001
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2011-11-16
    关键词： 镀膜设备
    公司里新进了一批二手镀膜的设备，不知如何保养，请各位大大指点一下，
     
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    离线filmokay
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    只看该作者 1楼 发表于: 2011-11-21
    和设备相关的。
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    离线dyfdudu
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    只看该作者 2楼 发表于: 2011-11-23
    设备真空度的检查，腔体挡污板的清洗，机械泵、罗茨泵泵油的定期更换，扩散泵加热器的检查，二手设备的话最好检查下扩散泵油。
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    离线yzhuang
    论坛版主
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    只看该作者 3楼 发表于: 2011-11-27
    什么好单位?居然进一批货,看来是上规模了
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    离线shweigi
    实习生
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    只看该作者 4楼 发表于: 2011-11-27
    有钱啊
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    离线12511895
    助理工程师
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    只看该作者 5楼 发表于: 2011-11-28
    清清扩散泵,罗次泵,和全部加热器
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