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    [原创]均匀性的修正 [复制链接]

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    离线futurebright
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    只看该作者 110楼 发表于: 2018-01-30
    666666666
    离线pyykun
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    只看该作者 111楼 发表于: 2018-02-27
    学习学习!!!
    离线白杨礼赞
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    只看该作者 112楼 发表于: 2018-08-27
    均匀性的调整一般跟几个方面有关系,功率,工艺气体分布,修正板,一般情况下用修正板的比较多
    离线谭书恒
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    只看该作者 113楼 发表于: 2018-08-27
    多谢楼主的共享
    离线morningtech
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    只看该作者 114楼 发表于: 2018-08-29
    机器稳定,就可以做修正板。 gkk< -j'  
    文献理论用于指导可以,要实际动手,修正原理并不难理解的。 W\<#`0tUt  
    离线白杨礼赞
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    只看该作者 115楼 发表于: 2018-08-30
    这可是一个细致活
    离线johnyu
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    只看该作者 116楼 发表于: 2018-09-03
    先選用單一藥材鍍製, tl^[MLQa  
    GyPN)!X@.&  
    再針對其MASK針對修減, Y) t}%62  
    (P>vI'  
    例如膜厚比預期膜厚增加,就把相對位置的MASK減少。 zuPH3Q={  
    oV!9B-<  
    幾鍋下來就可以拉
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    只看该作者 117楼 发表于: 2018-09-06
    看看............. t3XMQ']  
    离线huangbin1
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    只看该作者 118楼 发表于: 2018-11-24
    均匀性的修正,没有了解过 *j* WE\  
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    只看该作者 119楼 发表于: 2019-01-04
    来学习了