切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 2534阅读
    • 4回复

    [求助]大角度反射率测量疑问 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线youngnju
     
    发帖
    10
    光币
    8
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2011-11-03
    关键词: 光谱角度偏振
    使用光谱仪测量大角度倾斜入射光的反射率,受偏振的影响会不准确,具体原因不明白。请各位大侠赐教。 W _j`'WN/  
    %.^8&4$+  
    另外,请问加偏振片是否可行修正呢?
     
    分享到
    离线mang2004
    发帖
    2411
    光币
    11268
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2011-11-04
    光线在光学界面大角度入射时,P, S偏振方向的透射和反射特性有差异,可以从任何一本物理光学或波动光学书上找到理论根据。  /;LteBoY  
    ^pz3L'4n  
    加偏振片修正可行! CORX .PQ  
    "h.}o DS  
    可在光源之后,被测件之前加消光比较高的线起偏器。 PRm Z 3  
    离线youngnju
    发帖
    10
    光币
    8
    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 2011-11-08
    我知道S,P分量的反射率随着角度不同会有变化,但问题是无论S、P分量随角度如何改变,它们在固定角度下的反射率是固定的,因此在固定角度下,叠加后的总反射率应该也是固定的。这时候光谱仪检测到的总反射光的光强应该是一个确切不变的数值(不管此数值如何随角度而改变),那么所谓的“大角度反射率的不准确性”具体体现在哪里? ?QO)b9  
    .K^'Q|?  
    换个说法,如果不加偏振片,不区分出S、P分量,测量会有什么异常吗? r$ue1bH}|  
    离线mang2004
    发帖
    2411
    光币
    11268
    光券
    0
    只看该作者 3楼 发表于: 2011-11-09
    从回复中分析出是测试的重复性不好,即:在固定角度下,光谱仪检测到的总反射光的光强不是一个确切不变的数值,这是你认为的“大角度反射率的不准确性”,对吧? q p|T,D%  
    可否大概描述你的测试设置,规程及结果? U0u@[9!  
    pPCxa#OV  
    离线youngnju
    发帖
    10
    光币
    8
    光券
    0
    只看该作者 4楼 发表于: 2011-11-09
    我用的光谱仪测量反射率时固定入射角度5度,不能调整,所以我并没有实际观察过大角度测量时的结果。 Pb} &c  
    pvy;L[c  
    但在评估光谱仪时,两个设备供应商提到大角度反射率测量不准确的情况。因为后续制程可能会使用到大角度测量,所以我才有此一问。 f]$ g9H  
    _KmpC>J+