[求助]镀膜速率、功率、膜厚、Tooling之间的关系？ [复制链接]

求解：镀膜速率、功率、膜厚、Tooling之间的关系？ 怎么理解它们之间的关系?

一般是通过控制功率来控制速率，而膜厚是速率乘以时间的累积，tooling是校正厚度而设的一个材料参数。具体为toolingX显示厚度＝实测厚度

shoujiaole

在一定条件下 功率大 速率高  相对折射率偏高  膜厚减少  

zhemejiandan?

呵呵                这个也问啊

其实吧，这些问题你自己好好想想应该是能明白的

新手，好好学习中

鍍膜速率=單位A/s(每秒可以鍍幾個A的材料) (/j); oSK  
=%BZ9,l
 
功率=電子槍功率 GF^071]G  
2]ape !(  
膜厚:薄膜厚度(nm) yT,.z 0  
d
8x\  
Tooling=誤差值=實際/理想 RSfzRnhmr  
7?%k7f  
=Yt R`  
                                                                                                  來自台灣則米的SiO2王

鍍膜速率=單位A/s(每秒可以鍍幾個A的材料) @>U-t{W  
"PpN0Rr  
功率=電子槍功率 XUlS\CH@{  

*=*AAF  
膜厚:薄膜厚度(nm) HI11Jl}{  
 #c66)  
Tooling=誤差值=實際/理想 O|M{-)