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    [求助]镀膜速率、功率、膜厚、Tooling之间的关系? [复制链接]

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    离线e501559
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2011-11-01
    求解:镀膜速率、功率、膜厚、Tooling之间的关系? 怎么理解它们之间的关系?
     
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    离线yzhuang
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    只看该作者 1楼 发表于: 2011-11-08
    一般是通过控制功率来控制速率,而膜厚是速率乘以时间的累积,tooling是校正厚度而设的一个材料参数。具体为toolingX显示厚度=实测厚度
    离线xingmeng1227
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    只看该作者 2楼 发表于: 2011-11-09
    shoujiaole
    离线cxb007007
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    只看该作者 3楼 发表于: 2011-11-12
    在一定条件下 功率大 速率高  相对折射率偏高  膜厚减少  
    离线xingmeng1227
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    只看该作者 4楼 发表于: 2011-11-26
    zhemejiandan?
    离线老城1234
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    只看该作者 5楼 发表于: 2012-08-15
    呵呵                这个也问啊
    离线a060103112
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    只看该作者 6楼 发表于: 2013-02-27
    其实吧,这些问题你自己好好想想应该是能明白的
    离线scenery
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    只看该作者 7楼 发表于: 2013-08-03
    新手,好好学习中
    离线rexchou
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    只看该作者 8楼 发表于: 2016-04-21
    鍍膜速率=單位A/s(每秒可以鍍幾個A的材料) u70-HFI@  
    M:~/e8Xv  
    功率=電子槍功率 (cj3[qq  
    I:qfB2tL)O  
    膜厚:薄膜厚度(nm) 9A4h?/  
    XFg.Z+ #  
    Tooling=誤差值=實際/理想 dWI.t1`i  
    r_kw "9  
    &z\]A,=T c  
                                                                                                      來自台灣則米的SiO2王
    离线jakzhou
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    只看该作者 9楼 发表于: 2016-06-02
    鍍膜速率=單位A/s(每秒可以鍍幾個A的材料) ')9%eBaeK  
    B=;pyhc  
    功率=電子槍功率 O^ ]I>A#d  
    FNDLqf!j  
    膜厚:薄膜厚度(nm) p 0.?R  
    T$]2U>=<J  
    Tooling=誤差值=實際/理想 (/_Q r2KfC