光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 ){sn!5=
一、真空腔室内部及各部件的清理 #guq/g$
1.腔室内部防护板 Za>0 &Fnf
周期：每月清理一次 )[Bl3+'
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 ,lUroO^^
2.离子源清洗 H T a]T'
周期：50~100小时 S{l
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A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） qGYru 1
B.各个零件进行喷砂，其中： i:@n6GW+iw
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 M In6p
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 m0 a <~
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 jW!x!8=
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 ITmW/Im5
3.真空计清理 R|,F C'
周期：六个月清理一次 f-'$tMs
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 g(b:^_Nep
4.冷泵再生 Ia'm9Z*
周期：一个月 ` ;R
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二、各计量部件校准 x392uS$#
1、真空计 @8$3Q,fF(
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 B |zVq=l~
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） MF}}o0P
A.光源性能检查 .o"FT~}z
周期：50小时一次 @ 9}SHS
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 "KhVS
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 uTq)Ets3
B.光学监控系统的稳定性 J nzI-
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合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 z!0 }Kj
检查条件： }8\"oA6
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 ;i,:F`b~
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 C\d5t4s
③测定波长：550nm v."0igMO
C.波长精确度及再现性 aN}l&4d
周期：2年一次 6 lKM 5,Oa
合格标准 =w/S{yC
波长精确度 ±1.0 nm |AS`MsbI9
波长再现度 ±0.25 nm
