光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 o)`PS w=
一、真空腔室内部及各部件的清理 N0`9/l r|
1.腔室内部防护板 R @e'=z[%1
周期：每月清理一次 @W,jy$U
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 MP]<m7669*
2.离子源清洗 'yo@5*x7
周期：50~100小时 ofvR0yV
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） +UzQJt/>>
B.各个零件进行喷砂，其中： "*g+qll!5d
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 i'~-\ F!
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 K)Y& I
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 Qg> NJ\*Q
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 2e48L677-
3.真空计清理 QcegT/v O
周期：六个月清理一次 F(")ga$r
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 FU`(mQ*Yd
4.冷泵再生 0<M-asI?
周期：一个月 05UN
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二、各计量部件校准 Vk5Z[w a
1、真空计
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清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 &L|oqXE0L
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） 2& Q\W
A.光源性能检查 R2bq hSlF
周期：50小时一次 fN vQ.;
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 oFk2y ^>u
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 H MOIUd
B.光学监控系统的稳定性 O\}C`CiC
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 b?wrOS
检查条件： lg %fjBY
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 kHM Jh~
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 kG^76dAQL
③测定波长：550nm I8#2+$Be+@
C.波长精确度及再现性 sz7*x{E
周期：2年一次 CEfqFn3^
合格标准 UmKE]1Yw4r
波长精确度 ±1.0 nm L!f~Am:#
波长再现度 ±0.25 nm
