光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 Tul_/` An
一、真空腔室内部及各部件的清理 :sFP{rFx~
1.腔室内部防护板 3*3WO,9
周期：每月清理一次 *\I?gDON
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 2IqsBK`
2.离子源清洗 B +wSLi(
周期：50~100小时 H6x~mZu_:T
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） a84^"GH7
B.各个零件进行喷砂，其中： ;c_X
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栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 GNqw]@'Yf
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 X26gl ' U
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 iQZgs@
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 $985q@pV0
3.真空计清理 ioIUIp+B~u
周期：六个月清理一次 Y>{K2#k
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 =E8lpN'
4.冷泵再生 ot]E\g+!
周期：一个月 B8'" ^a^&-
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二、各计量部件校准 z"u4t.KpL
1、真空计 >
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清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 G?{BVWtl}
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） [2gK^o&t
A.光源性能检查 /-b )`%Q|Y
周期：50小时一次 "@RLS~E j
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 G)';ucs:,
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 ji="vs=y
B.光学监控系统的稳定性 N Q_H-D\,
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 r
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检查条件： b{=2#J-
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 t?L;k+sMM
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 Lo\+T+n
③测定波长：550nm ='q: Io?T
C.波长精确度及再现性 X #j-Ld{j
周期：2年一次 5m!FtHvm1
合格标准 F=U3o=-:
波长精确度 ±1.0 nm INOw0E[
波长再现度 ±0.25 nm
