光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 Q=mI 9
一、真空腔室内部及各部件的清理 E/M_l vQ
1.腔室内部防护板 t.T
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周期：每月清理一次 #:jb*d?
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 54lu2gD'
2.离子源清洗 gTl<wo +
周期：50~100小时 Vj<:GRNQ,d
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） >F1k R\!
B.各个零件进行喷砂，其中： ; Uc0o!1
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 v
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C超声清洗，丙酮、酒精各一次 [^CV>RuO
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 X cr
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E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 o[oM 8o<
3.真空计清理 6E(Qx~i L
周期：六个月清理一次 [(X y.L7x
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 &Z(K6U#.
4.冷泵再生 qm/ Q65>E
周期：一个月 ZkL8 e
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二、各计量部件校准 )?+$x[f!*
1、真空计 P-F)%T[
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 0 a8/B>
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） b@RHc!,>jV
A.光源性能检查 :w}{$v}#D;
周期：50小时一次 \ (226^|j
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 dS^T$sz.co
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 EA ]+v q
B.光学监控系统的稳定性 %CWPbk^
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 s { #3r
检查条件：
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①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 XE^)VLH:
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 5T sU Qc
③测定波长：550nm ]7-& V-Ct*
C.波长精确度及再现性 u]}s)SmDk
周期：2年一次 A-:O`RK
合格标准 +"9hWb5
波长精确度 ±1.0 nm (c0A.L)
波长再现度 ±0.25 nm
