光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 Pm"nwm
一、真空腔室内部及各部件的清理 :{s0tw>Z
1.腔室内部防护板 6>gm!6`
周期：每月清理一次 :(YFIW`59
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 &fW'_, -
2.离子源清洗 w v
周期：50~100小时 {8"Uxj_6V
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） /V }Z,'+
B.各个零件进行喷砂，其中： ny} _^3
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 jbe_r<{
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 3M q%3jX
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 Zg9VkL6Z6
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 +`7!4gxwK!
3.真空计清理 ct@3]
周期：六个月清理一次 +E']&v$
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 n )P qA*
4.冷泵再生 G2&,R{L6w
周期：一个月
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二、各计量部件校准 a1shP};pK
1、真空计 ]sI\. a
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 bO* hmDt
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） 3X#Cep20a
A.光源性能检查 8Oa+,?<0x
周期：50小时一次 [QIQpBL
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 P8[k1"c!
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 s_3a#I
B.光学监控系统的稳定性 My f2"\}
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 a- lF}P\
检查条件： sB!6"D5
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 IdCE<Oj\
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 a@-bw4S D
③测定波长：550nm CIVV"p`}
C.波长精确度及再现性 X o[GD`t
周期：2年一次 ;B !p4 hu
合格标准 I#'yy7J
波长精确度 ±1.0 nm +R_s(2vz
波长再现度 ±0.25 nm
