光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 Ej<`HbJ 'Q
一、真空腔室内部及各部件的清理 :Aj[#4-=
1.腔室内部防护板 F#z1 sl'
周期：每月清理一次 NYeL1h)l
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 HM w}pp:
2.离子源清洗 ]) #?rRw
周期：50~100小时 =( Y +u
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） 7! ~)a
B.各个零件进行喷砂，其中： 1cV0TUrz
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 b@B\2BT
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 d!y_N&z|(
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 =< Ss&p>
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 K<v:RbU|[1
3.真空计清理 k)a gbx
周期：六个月清理一次 pwl7aC+6d
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 WL;2&S/{ @
4.冷泵再生 ~n%]u! 6
周期：一个月 ) Ut9k
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二、各计量部件校准 !Hj
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1、真空计 " t,Z O
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 X]s="^
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） <W/YC 2b
A.光源性能检查 A bB+<0
周期：50小时一次 o),@I #fM
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 0+k= gO
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 +<3e@s&
B.光学监控系统的稳定性 :JK+V2B$H
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 Dk}txw}#
检查条件： )H{OqZZYD
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 nX<yB9bXDg
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 \cQ+ 9e)
③测定波长：550nm `m\ ?gsw7
C.波长精确度及再现性 P%ZU+ET
周期：2年一次 RggO|s+0;
合格标准 Zig3WiD&
波长精确度 ±1.0 nm 3u'@anre
波长再现度 ±0.25 nm
