光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 bN4&\d*u#
一、真空腔室内部及各部件的清理 e.}3OK
1.腔室内部防护板 4ljvoJ}xjr
周期：每月清理一次 SfZ=%6b7
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 tT* W5
2.离子源清洗 \Qi#'c$5+a
周期：50~100小时 V"7<[u]K|
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） LN.Bd,
B.各个零件进行喷砂，其中： 11B{gUv.]
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 /G)KkB C
C超声清洗，丙酮、酒精各一次
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D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 X&9^&U=e
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 FU5LY XCs
3.真空计清理 ?K4.L?D#J
周期：六个月清理一次 ?79SP p)oo
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 z[5Y
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4.冷泵再生 17 i<4f#
周期：一个月 v#:+n+y\ z
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二、各计量部件校准 5y(t`Fmt
1、真空计 h{W$ fZc<
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 aT ?p>
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） m6_~`)R8
A.光源性能检查 )e|$K=
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周期：50小时一次 8Fd1;G6
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 G>=9gSLM
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 ^I(oy.6?=p
B.光学监控系统的稳定性 ,#E3,bu6_4
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 Jb3>vCIn
检查条件： $ ] W[y=
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 `q f\3JT\
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 lruF96C/Y
③测定波长：550nm `W"a! ,s2
C.波长精确度及再现性 V q3]7l
周期：2年一次 ]k'#g Z$
合格标准 4; BW
波长精确度 ±1.0 nm
= E
[ 4H
波长再现度 ±0.25 nm
