光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 =V CQ*
一、真空腔室内部及各部件的清理 f@* >P_t
1.腔室内部防护板 M/)B" q
周期：每月清理一次 f~v"zT
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 TRCI\
2.离子源清洗 j #es2;
周期：50~100小时 u!u5g.Q
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） H CuK
B.各个零件进行喷砂，其中： &$Ci}{{n#
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 .hgH 9$\
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 omT(3)TP
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 mOSCkp{<e
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 \086O9
3.真空计清理 XP4jZCt9
周期：六个月清理一次 jB/V{Y#y9@
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 cyHhy_~R
4.冷泵再生 E6JV}`hSk
周期：一个月 0ZT 0
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二、各计量部件校准 8LeK wb
1、真空计 P_mi)@
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 PMsC*U,oe
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） <YSg~T
A.光源性能检查 fxOE]d8v
周期：50小时一次 YVJ+'
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合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 z2ds 8-z
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 ifd}]UMQ
B.光学监控系统的稳定性 h\2}875
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 oM2|]ew)
检查条件： >waN;&> /
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 9G+y.^/ 6
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 QWQ!Ak
③测定波长：550nm +!G4tA$g
C.波长精确度及再现性 H[Cj7{ V
周期：2年一次 =J`gGDhGY-
合格标准 a\>+=mua
波长精确度 ±1.0 nm ;i/"$K
波长再现度 ±0.25 nm
