光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 EN}4-P/5
一、真空腔室内部及各部件的清理 XdlA)0S)
1.腔室内部防护板 -m=!SQ >9
周期：每月清理一次 F$ |d#ny
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 )"tM[~e`
2.离子源清洗 o?= &kx
周期：50~100小时 wLfH/J
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） <?;KF2A({
B.各个零件进行喷砂，其中： >wYmx4W>
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 By*YBZ
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 {SZv#MrK
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 s nNd7v.U6
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 ? vik2RW
3.真空计清理 PF)s>
周期：六个月清理一次 BP&] t1p
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 DbR!s1ux
4.冷泵再生 &`]T# ">
周期：一个月 W^;4t3eQf
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二、各计量部件校准 j@UE#I|h
1、真空计 z - ]ND
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 bVZA f
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） , a2=OV
A.光源性能检查 va#].4_
周期：50小时一次 66MU rNW
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 HB <>x
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 (v0Q.Q@ <
B.光学监控系统的稳定性 5lwMc0{/3
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 S]e;p\8$Z
检查条件： (2 hI
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 vMJ_n=Vf
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 ][ 8`}ki 1
③测定波长：550nm fCO<-L9k$
C.波长精确度及再现性 9A`^ (
周期：2年一次 RO[X #c
合格标准 Kb /qM}jS
波长精确度 ±1.0 nm UQb|J9HY4
波长再现度 ±0.25 nm
