光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 &8;Fi2}(L
一、真空腔室内部及各部件的清理 (I/ZI'Ydy
1.腔室内部防护板 7aS%;EU
周期：每月清理一次 <<DPer2
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 Ts\PZQ!q
2.离子源清洗 fBb:J +
周期：50~100小时 v YybQ&E/
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） ep6V2R
B.各个零件进行喷砂，其中： Zd| u>tn
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 5KNa-\
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 9=J 3T66U
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 wwN kJ+
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 sa}.o Zp Q
3.真空计清理 ]`q]\EH
周期：六个月清理一次 @.,Mn#
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 hzk4SOT(
4.冷泵再生 (M?V B*sm0
周期：一个月 ~\*wt( o
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二、各计量部件校准 Z ,-J
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1、真空计 #Vhr 1 ;j
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 |hS^ eK_
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） ]DUmp6
A.光源性能检查 #nQboTB@
周期：50小时一次 3, 3n
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 e<{waJ1
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 i# fvF)
B.光学监控系统的稳定性 TyvUdU
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 \qDY0hIv t
检查条件： [x%8l,O
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①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 | .b&\
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 4a v
③测定波长：550nm l*Q OM
C.波长精确度及再现性 iA|n\a~ny,
周期：2年一次 Nx zAlu
合格标准 RWB ]uHzE
波长精确度 ±1.0 nm Zbr1e5?
波长再现度 ±0.25 nm
