光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 @y[Zr6\z
一、真空腔室内部及各部件的清理 Y}7'OM
1.腔室内部防护板 h']R P
周期：每月清理一次 -20 o%t
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 kX zm
2.离子源清洗 GBzC<e#
周期：50~100小时 J?)vsnD.H
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） fc. _*y#AS
B.各个零件进行喷砂，其中： TyD*m$`y
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 h#@l 'Cye
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 A9qCaq{
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 4*&x% ~*
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 Z2 )f$ c
3.真空计清理 i :Pg&474f
周期：六个月清理一次 D-9zg\\'`
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 I.r &;
4.冷泵再生 w(8q qU+\
周期：一个月 D QP#h5O
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二、各计量部件校准 ~QFD ^SoK
1、真空计 SK uZik_
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 GK)3a 9;
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） V. )y7B
A.光源性能检查 qGuz`&i
周期：50小时一次 N~{0QewMI'
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 + L;[-]E8
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 `!S5FE"-
B.光学监控系统的稳定性 V9-pY/v 9
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 #pBAGm 3
检查条件： Fkuq'C<|Y
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 X_C9Z
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 =rl/ l8|P
③测定波长：550nm -}%'I ]R=
C.波长精确度及再现性 -b~MQ/, 2
周期：2年一次 jV\M`=4IC
合格标准 d8<Lk9H9R
波长精确度 ±1.0 nm `]\4yTd
波长再现度 ±0.25 nm
