光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 /"A)} >a
一、真空腔室内部及各部件的清理 3V]B|^S
1.腔室内部防护板 t:tT Zh
周期：每月清理一次 J:
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 Mp:/[%9Fi
2.离子源清洗 SG1o< #>
周期：50~100小时 [#y/`
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） Hl"qLrb4
B.各个零件进行喷砂，其中： gxEa?QH
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 tGGv 2TCEy
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 aRBTuLa)fo
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 8(R%?> 8
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 O R[6pr@
3.真空计清理
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周期：六个月清理一次 BJI}gm2y
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 +u%^YBr
4.冷泵再生 i>!7/o
周期：一个月 %Z@+K_X9x
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二、各计量部件校准 1O
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1、真空计 Txkmt$h
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 & 2MI(9v
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） {HKd="%VG
A.光源性能检查 v,Lv4)
周期：50小时一次 L,*KgLG
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。
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2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 ^06f\7A
B.光学监控系统的稳定性 8d9&LP v
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 H`/Q hE
检查条件： B .p&,K
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 BIf E+L(
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 y2k '^zE
③测定波长：550nm V5y8VT=I
C.波长精确度及再现性 iOpMU
周期：2年一次 ,-PzUR4_Kj
合格标准 ;Ee!vqD2
波长精确度 ±1.0 nm T9r"vw
波长再现度 ±0.25 nm
