光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 Nqc p1J "
一、真空腔室内部及各部件的清理 MQ` %``
1.腔室内部防护板 ]-:6T0JuS
周期：每月清理一次 8z}^j TM
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 w"8V0z
2.离子源清洗 BvK QlT
周期：50~100小时 #{*LvI&
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） gn)R^
B.各个零件进行喷砂，其中： o=_c2m
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 ()\jCNLT
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 .'T 40=7
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 Kkv<"^H
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 -V5w]F'
3.真空计清理 ]Blf9h7
周期：六个月清理一次 J,5+47b1}R
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 fu4!t3 1
4.冷泵再生 z%sy$^v@vD
周期：一个月 >c~RI7uu
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二、各计量部件校准 "0Q1qZ
1、真空计 U~H?4Izl=
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 (3;@^S4&w
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） "=A>}q@;H
A.光源性能检查 "9XfQ"P
周期：50小时一次 5=L} \ankn
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 h@1!T
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 ]
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B.光学监控系统的稳定性 !SxG(*u
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 0L#/lDNk
检查条件： VhEka#
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 y1pu R7
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 57Z-
③测定波长：550nm wC CV2tk
C.波长精确度及再现性 l V 6dm=k
周期：2年一次 Zu/<N C
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合格标准 :iPy m}CE
波长精确度 ±1.0 nm |+}G|hx@9
波长再现度 ±0.25 nm
