光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 G1:2MPH
一、真空腔室内部及各部件的清理 qGKQrb,K
1.腔室内部防护板 W\ <p`xHk
周期：每月清理一次 +vCW${U
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 ;PhX [y^*
2.离子源清洗 0:3<33]x
周期：50~100小时 $,B@yiie
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） MPmsW &
B.各个零件进行喷砂，其中： B?)=d,E
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 GwaU7[6
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 F,-S&d
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 _o-D},f*e
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 V_"K
3.真空计清理 |KxFi H
周期：六个月清理一次 B!cg)Y?.bd
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 uM<6][^`
4.冷泵再生 -O-qEQd
周期：一个月 X#*|_(^
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二、各计量部件校准 2 v6QUf
1、真空计 ,
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清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 u Z(j"y
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） r&t)%R@q
A.光源性能检查 <H)I06];
周期：50小时一次 @fWmz,Ngl
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 j7)Xm,wI8
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 S@a#,,\[
B.光学监控系统的稳定性 a}+7MEUmZ/
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 UldG0+1d
检查条件： &[hq ! v
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 R~],5_|
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 duKR;5:
③测定波长：550nm 1MCHwX3/
C.波长精确度及再现性 !` G7X
周期：2年一次 .V?i 3
合格标准 {^xp?zpV
波长精确度 ±1.0 nm Ex
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波长再现度 ±0.25 nm
