光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 /Zxq-9
一、真空腔室内部及各部件的清理 T9Fe!yVA
1.腔室内部防护板 v[)8 1uY
周期：每月清理一次 gJ^taUE
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 {vQ:4O!:
2.离子源清洗 Y+5aT(6O
周期：50~100小时 o.s(=iG
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） _ER. AKY
B.各个零件进行喷砂，其中： \mWH8Z
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栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 U/_hH*N"!
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 MSB /O.
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 cM]ZY i
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 e$&n)>%
3.真空计清理 )4> 7X)j>
周期：六个月清理一次 {]$ )dz5
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 2rb@Md]dx
4.冷泵再生 %D~Mij
周期：一个月 %AmyT
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二、各计量部件校准 JEF ;Q
1、真空计 $#(j2sL1
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 | /n
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） g{f7 } gTG
A.光源性能检查 uQ7lC~
周期：50小时一次 pF(6M3>IN
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 6h0}ZM
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 R`B} T<*
B.光学监控系统的稳定性 Pz 0TAb
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 {d.K)8 \
检查条件： nj1PR`AE
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 <j3|Mh_(I
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 ~wO -Hgd
③测定波长：550nm - FJLM
C.波长精确度及再现性 gdq6jz
周期：2年一次 2jxIr-a1G
合格标准 / rk y
波长精确度 ±1.0 nm 0& ?L%Y
波长再现度 ±0.25 nm
