光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 xGG,2W+z
一、真空腔室内部及各部件的清理 ?^EXTU85`"
1.腔室内部防护板 `WOYoec
周期：每月清理一次 iK IOh('G
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 e[ Jem5C
2.离子源清洗 DtEwW1J
周期：50~100小时 |P .6<
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） -dO'~all
B.各个零件进行喷砂，其中： u^j {U}
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 3w!c`;c%
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 n?:=
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 nWvu aQ0}
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 hHPs&EA.p
3.真空计清理 NcAp_q?
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周期：六个月清理一次 LsM7hLy
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 {q3H5csFq
4.冷泵再生 /LM4- S
周期：一个月 &l?+3$q
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二、各计量部件校准 KnNh9^4"\2
1、真空计 KHDZ
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 )C. yF)Ql
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） 0liR
A.光源性能检查 x5Z-{"
周期：50小时一次 4TwQO$C
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 BvU"4d;x
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 yt+}K)Hz
B.光学监控系统的稳定性 X{g% kf,D=
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 k5&bq2 )I
检查条件： {gKN d*[*
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 '&;69`FSe
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 Kwhdu<6
③测定波长：550nm =q" eU=9
C.波长精确度及再现性 3 },Zlu
周期：2年一次 3[XQR8o
合格标准 poJg"R4
波长精确度 ±1.0 nm jb /8?7
波长再现度 ±0.25 nm
