光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 &9'6hMu
一、真空腔室内部及各部件的清理 |*!I(wm2i
1.腔室内部防护板 \!-X&ws
周期：每月清理一次 EF}Z+7A
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 QjPc fR\
2.离子源清洗 0L|A
周期：50~100小时 TkK- r(=
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） sLC L\dWT
B.各个零件进行喷砂，其中： D:%v((Ccw
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 iNha<iS+
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 Iu%S><'+
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 Rj-<tR{
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 :?&N/ 7
3.真空计清理 cU+/I>V
周期：六个月清理一次 %c[by
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 ~v2_vEu}JX
4.冷泵再生 b d9]'
周期：一个月 a(bgPkPP
NoV2<m$
二、各计量部件校准 @ %kCe>r
1、真空计 <s
$~h
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 2 rne=L
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） )Nk^;[
A.光源性能检查 z!eY= G'
周期：50小时一次 0F)Y[{h<
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 'Exj|Y&
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 Q[S" "P.Z|
B.光学监控系统的稳定性 ?DA,]aa-
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 :v=Yo
检查条件： )
=sm{R%T
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。
|G{TA
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 cs,%Zk.xjw
③测定波长：550nm G=(F-U;*
C.波长精确度及再现性 R9~%ORI#;
周期：2年一次 _a^%V9t
合格标准 nRJcYl~
Y
波长精确度 ±1.0 nm nJlrBf_Kj
波长再现度 ±0.25 nm
