光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 &"xQ~05
一、真空腔室内部及各部件的清理 4Q$!c{Y
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1.腔室内部防护板 URLk9PI
周期：每月清理一次 pG~'shD~Dn
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 4AuH1m)<
2.离子源清洗 h>| g2h
周期：50~100小时 wz h. $?~
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） \x(.d.l/
B.各个零件进行喷砂，其中： bK?MT]%}r
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 ]r!QmWw~V
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 g [AA,@p+
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 q#jEv- j.
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 =D}4X1l
3.真空计清理 h^Qh9G0dn
周期：六个月清理一次 oCbpK
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 [t$4Td d
4.冷泵再生 Ajg\aof0{
周期：一个月 fy`+Efuj
Vcr VaBw
二、各计量部件校准 R2CQXhiJ
1、真空计 _Ds@l VY
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 k8
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2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） U P]1(S?
A.光源性能检查 :pb67Al29
周期：50小时一次 ifvU"l
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 .> wFz tK
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 Vha'e3 o!
B.光学监控系统的稳定性 zA,/@/'(
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 !VFem~'d
检查条件： *<x rp*O
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 o)p[
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②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 HS7_MGU
③测定波长：550nm ]Z/R!y?l"G
C.波长精确度及再现性 dqx d3,Z
周期：2年一次 L_k 9g12
合格标准 %Ci^*zb
波长精确度 ±1.0 nm O) 1E$#~
波长再现度 ±0.25 nm
