光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 Fn yA;,*
一、真空腔室内部及各部件的清理 _ z#zF[%
1.腔室内部防护板 +(QGlRd
周期：每月清理一次 Lr V)}1&5
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 [_#9 PH33
2.离子源清洗 M8Q-x-7
周期：50~100小时 7?dB&m6W
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） IX,/ZOZ|
B.各个零件进行喷砂，其中： o
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栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 \M'b %
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 8(\Az5 %
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 !Yz~HO,u+
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 1)X%n)2pr
3.真空计清理 pTX{j=n!
周期：六个月清理一次 Jr==AfxyT
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 ZOi8)Y~
4.冷泵再生 ?S36)oZzg
周期：一个月 gQCkoQi:j
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二、各计量部件校准 "9>~O` l,
1、真空计 h)~KD%
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 EL;Ir tU
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） :w_Zr5H]
A.光源性能检查 b,cA mZ
周期：50小时一次 ;lB%N
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合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 A\ CtM`
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 s0~a5Ti3
B.光学监控系统的稳定性 k*\WzBTd
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 x@;XyQq
检查条件： FAz shR
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 O&!+ni
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 ;^^u _SuH
③测定波长：550nm Hl8-1M$&
C.波长精确度及再现性 b54<1\&
周期：2年一次 ;$wS<zp6
合格标准 \f}S Hh
波长精确度 ±1.0 nm &jT>)MX Pu
波长再现度 ±0.25 nm
