光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 e@L+z
一、真空腔室内部及各部件的清理 DS=kSkW^&5
1.腔室内部防护板 M\enjB7 k
周期：每月清理一次 !}l)okQH<#
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 JBeC\ \QX
2.离子源清洗 D<5gdIw
周期：50~100小时 rv9qF |2r{
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） HTQ .kV
B.各个零件进行喷砂，其中： }{bO ~L7
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 T~ /Bf
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 No =f&GVg
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 c ?V,a`6
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 dm8 veKW'l
3.真空计清理 L6 r& Y~+/
周期：六个月清理一次 87YT;Z;U&
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 ENA8o}n
4.冷泵再生 Y^2Ma878
周期：一个月 d0MX4bhZ
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二、各计量部件校准 ^q%~K{'`-
1、真空计 AJC Wp4,
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 7yeZ+lD
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） s
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A.光源性能检查 vQc>jmS+n
周期：50小时一次 qW?^_
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 ~AjbF(Ad
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 @2YO_rL[
B.光学监控系统的稳定性 ]r'b(R; S
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 rH8?GR0<
检查条件： A5ktbj&gy<
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 VF<{Qx*
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 (0Hhn2JA
③测定波长：550nm F] M3/M
C.波长精确度及再现性 SY>N-fW\H:
周期：2年一次 *v8Cj(69
合格标准 -S)HB$8
波长精确度 ±1.0 nm 'G@Npp)&^
波长再现度 ±0.25 nm
