光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 ~EPjZ3 ?
一、真空腔室内部及各部件的清理 1(D1}fcul
1.腔室内部防护板 $&NbLjeS
周期：每月清理一次 hXBqz9
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 {bxhH)a'
2.离子源清洗 2@4MC`&
周期：50~100小时 ir"* iL=
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） " %Lmgy:~
B.各个零件进行喷砂，其中： :hi$}xHa
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 ud!r*E
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 d?E4[7<t$1
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 #0xm3rFy4
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 ba A HP "
3.真空计清理 @)+i{Niuv
周期：六个月清理一次 z, :+Oc
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 chM t5L+5
4.冷泵再生 Y'\3ux0]4'
周期：一个月 Ynv 9v\n|
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二、各计量部件校准 YL_!#<k@
1、真空计 [UUM^! 1
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 Uia)5z z8
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） &xF4p,7
A.光源性能检查 #{.pQi})
周期：50小时一次 \0xzBs1!
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 8'>.#vyMGv
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 i,\t]EJAU
B.光学监控系统的稳定性 u~j'NOv
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 W"#j7p`d
检查条件： 9L UP{(uq
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 k)o7COx
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 axt6u)4%7:
③测定波长：550nm ?d, acm
C.波长精确度及再现性 $=QNGC2+
周期：2年一次 OqUE4. vIP
合格标准 -uS7~Ww.a
波长精确度 ±1.0 nm fte!Ll'
波长再现度 ±0.25 nm
