光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 %Mj,\J!
一、真空腔室内部及各部件的清理 L~ f~XgQ
1.腔室内部防护板 w2xD1oK~o
周期：每月清理一次 C$0u-Nx8
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 H
~3.F
2.离子源清洗 cWo>DuW&
周期：50~100小时 qqo#H O
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） $gnrd~v4e
B.各个零件进行喷砂，其中： z2{y<a9;?
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 TgjjwcO Y
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 c
$r"q :\
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 OIj.K@Kr
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 c*B< -
l<5
3.真空计清理 I'BHNZO5tf
周期：六个月清理一次 %\HE1d5;
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可
ilQ}{ p6I
4.冷泵再生 qCI7)L`
周期：一个月 /& | p7
Csy$1;"A
二、各计量部件校准 zWU]4;,"
1、真空计 'k]~Q{K$
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 b-/QZvg
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） h STcL:b
A.光源性能检查 OqS!y(
(
周期：50小时一次 2]?=\_T
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 s<"|'~<n
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 C{$iuus 0
B.光学监控系统的稳定性 K" V cPDK
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 } r(b:}DN
检查条件： 6)0.q|Q
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 @ gb W:
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 d)V8FX,t
③测定波长：550nm s}". po]
C.波长精确度及再现性 hFm^Fy[R
周期：2年一次 W/\VpD) ?;
合格标准 P<Bx1H-z-
波长精确度 ±1.0 nm O$r/ {{I.
波长再现度 ±0.25 nm
