光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 CT <7mi!
一、真空腔室内部及各部件的清理 e `_ LEv
1.腔室内部防护板 |-67 \p]
周期：每月清理一次 #pow ub
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 9Q^r
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2.离子源清洗 kPG-hD
周期：50~100小时 mfn,Gjt3O
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） \ A#41
B.各个零件进行喷砂，其中： a 7 V-C
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 wh`"w7br
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 T@B/xAq5!
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 ,.8KN<A2]'
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 )T2Caqs 2
3.真空计清理 oG?Xk%7&\
周期：六个月清理一次 3AtGy'NTp
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 SYJD?&C;
4.冷泵再生 m4Qh%}9%
周期：一个月 V#$RR!X'
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二、各计量部件校准 '3tCH)s
1、真空计 ibk6|pp
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 7hcYD!DS
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） f|c{5$N!
A.光源性能检查 9ULQrq$?
周期：50小时一次 ,AFu C <
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 s?}e^/"v
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 -zgI_u9=EB
B.光学监控系统的稳定性 ]y '>=a|T
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 I-*S&SiXjI
检查条件： %p=M;
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 pofie $
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 n5NsmVW \x
③测定波长：550nm xGg )Y#
C.波长精确度及再现性 {rw|# Z>A
周期：2年一次 !9r$e99R
合格标准 `iNSr?N.
波长精确度 ±1.0 nm I" <\<^B<
波长再现度 ±0.25 nm
