光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 'IER9%V$
一、真空腔室内部及各部件的清理 +@PZ3
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1.腔室内部防护板 os(}X(
周期：每月清理一次 ND5E`Va5R
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 U zk_ae
2.离子源清洗 .|K\1qGW0
周期：50~100小时 sk. rJ
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） j MA%`*r
B.各个零件进行喷砂，其中： \g|;7&%l3
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 4 W+ nS v
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 ,]?l(H $x'
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 %$!EjyH9
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 & l~=c2
3.真空计清理 " 2@Ys* e
周期：六个月清理一次 $w<~ W1\:
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 +z\O"zlj
4.冷泵再生 ~#[ ZuMO?
周期：一个月 L G9#D
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二、各计量部件校准 wmPpE_ {
1、真空计 6d/b*,4[
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 |zL .PS
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） +<I1@C
A.光源性能检查 B6vmBmN
周期：50小时一次 g M3gc;
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 ihhn B
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 * *O4"+Xi8
B.光学监控系统的稳定性 dUJNr_
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 c5rQkDW
检查条件： f:g<Bz=u)*
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 9P)<CD0
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 W.,J'
③测定波长：550nm w02HSQ
C.波长精确度及再现性 0?t!tugG
周期：2年一次 ?8 C+wW
合格标准 ig/716r|
波长精确度 ±1.0 nm |,&!Q$<un
波长再现度 ±0.25 nm
