光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 [PIh^ DhK
一、真空腔室内部及各部件的清理 }R9>1u}6
1.腔室内部防护板 W>_K+: t
周期：每月清理一次 LJgGX,Kp
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 "C] v
2.离子源清洗 [mcER4]}
周期：50~100小时 Hk 0RT%PK
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） r`\6+ Ntb.
B.各个零件进行喷砂，其中： Q )/oU\
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 W9rmAQjn
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 H5eGl|Z5]^
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 WHy
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E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 Q,LDn%+;B*
3.真空计清理 oHPh2b0
周期：六个月清理一次 |e_'% d&
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 'Q dDXw5o
4.冷泵再生 1YtbV 3
周期：一个月 ? APCDZ^
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二、各计量部件校准 0sP*ChY5S
1、真空计 " Ng%"Nz
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 grxlGS~Q
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） D & Bdl5g
A.光源性能检查 8U)*kmq
周期：50小时一次 x+bC\,q
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 mVd%sWD
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 NX&Z=ObHu}
B.光学监控系统的稳定性 XS(Q)\"
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 S*NeS#!v
检查条件： s$Vz 1B
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 fyF8RTm{
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 u#+Is4Vh
③测定波长：550nm 3k av zB[
C.波长精确度及再现性 Ez+8B|0P
周期：2年一次 O %1uBc
合格标准 u\3=m%1
波长精确度 ±1.0 nm BC)1FxsGf
波长再现度 ±0.25 nm
