光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 #v9+9X`1L
一、真空腔室内部及各部件的清理 [nr D4
1.腔室内部防护板 } j;es(~D
周期：每月清理一次 Nw -U*y
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 >&F:/
2.离子源清洗 ^=PY6! iW
周期：50~100小时 dxtG3
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） +4rd
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B.各个零件进行喷砂，其中： % I2JS
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 >B*zz j
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 02T'B&&~
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 $+Z2q<UT
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 S-</(,E}|
3.真空计清理 x-4d VKE*z
周期：六个月清理一次 #CB Kt,
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 J(= y$8xje
4.冷泵再生 eX!yIqAR
周期：一个月 wrK@1F9!
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二、各计量部件校准 ~C3Ada@4
1、真空计 GxC\Nj#
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 nQa:t. rC
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） $d,{I8d
A.光源性能检查 =Mxu,A
周期：50小时一次 :hR^?{9Z4>
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 sb?!U"v.'
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 aH8]$e8_,\
B.光学监控系统的稳定性 t}OzF cyqN
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 =wD&hDn4
检查条件： L 7LUy$M-<
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 W ,v0~
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 `@vksjxu
③测定波长：550nm giW9b _
C.波长精确度及再现性 P.1Z@HC
周期：2年一次 e#F3KLSL`
合格标准 uf:'"7V7
波长精确度 ±1.0 nm ,^eOwWV
波长再现度 ±0.25 nm
