光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 T&1-eq >l
一、真空腔室内部及各部件的清理 ycgfZ 3K
1.腔室内部防护板 ;W7 hc!
周期：每月清理一次 owE<7TGPI?
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 ?SC3Vzr
2.离子源清洗 H1`
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周期：50~100小时 <9ma(PFa
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） {]&R8?%
B.各个零件进行喷砂，其中： DpA\r_D
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 <fNGhmL
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 p{NPc T%&
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 )fNGB]%
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 (E!%v`_0
3.真空计清理 ]{YN{
周期：六个月清理一次 {bN Y
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 [ZuVUOm
4.冷泵再生 l <:`~\ #
周期：一个月 <O ;&qT*b
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二、各计量部件校准 ^~^mR#<P$
1、真空计 6 |QTS|!
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 Js/N()X
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） uu }'i\Q
A.光源性能检查 mHKJ
周期：50小时一次 X$/E> I
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 }A-{ 6Qe
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 F
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B.光学监控系统的稳定性 y'^F,WTM
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 y)P&]&"?
检查条件： rB,ldy,f
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 u[)_^kIE(n
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 bn $)f6%
③测定波长：550nm TZe+<~4*i%
C.波长精确度及再现性 (I[s3EnhS
周期：2年一次 '? 5S"??
合格标准 veV_be{i
波长精确度 ±1.0 nm yKYl@&H/%
波长再现度 ±0.25 nm
