摘要:采用两层多晶硅表面微加工工艺, 研制开发了一种新型的微型可编程闪耀光栅. 该光栅具有结构简单、工作谱段宽、光谱连续可调等特点. 为了实现可工作闪耀角的最大化, 有效利用 Dimple 结构作为栅条的核心功能组件, 其高度接近空气间隙. 由实验测得, 研制的微型可编程闪耀光栅在驱动电压 112 V 作用下能达到的最大可工作闪耀角约 5.19°, 对应的最大闪耀波长达到中红外 4.88 μm. 在此基础上,以该微型可编程闪耀光栅为核心的分光元件, 研究了其在多光谱成像领域应用的可行性, 并搭建了多光谱成像系统的原型样机, 得到了较好的实验结果. 最后, 讨论了该成像系统的优点, 并提出了进一步研究的建议. e ^& 8x
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关键词:微型可编程闪耀光栅;表面微加工;光谱调制;多光谱成像
