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    [求助]求救,诡异的脱膜状况,急.... [复制链接]

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    离线fupi1419
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2010-03-16
    关键词： 镀膜光谱滤光片
    最近发现镀制完成后的滤光片,经过沸水煮10分钟后,出现脱膜的情形,但并非膜层全部脱除,经由光谱模拟看来应该是只有最外层膜层变薄,请问这种情况各位有没有遇到过,有解决的方法吗??? iyE7V_O T  
    Po0A#Zl  
    镀膜温度290度,镀膜材料为TiO2和SiO2,真空值为9.5*10^-4 Pa,所镀层数约40~50层,最外层是SiO2,无离子源助镀....... iVr JQ  
    rXq.DvQ  
    恳请赐教~~~
     
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    离线shenbin
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    只看该作者 1楼 发表于: 2010-03-16
    我们也有这个现象 但是我们的温度是380
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    离线xiaoli010102
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    只看该作者 2楼 发表于: 2010-03-19
    我来说下 不知道对不对 仅供参考  在镀制中温度要控制好 不应过高是一点  看镀制40-50层 一般零件是中间厚边缘薄，本来就有内应力  而且还要学日本去用沸水煮  况且在镀制中越往后虽然真空度高了 但膜料由于蒸发角的原因沉积会受到影响 所以会变薄  建议零件完工后褪下火或者用离子源辅助
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    离线shenbin
    技术员
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    只看该作者 3楼 发表于: 2010-03-20
    有什么退火的工艺吗
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    离线cych1984
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    只看该作者 4楼 发表于: 2010-03-25
    同意2楼的说法。
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    离线ljq2007
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    只看该作者 5楼 发表于: 2010-05-05
    最外层不要用SiO2,用Al2O3试试。
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    离线朱小朱
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    只看该作者 6楼 发表于: 2012-02-13
    学习了 谢谢
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    离线dede
    助理工程师
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    只看该作者 7楼 发表于: 2012-02-15
    学习了 谢谢
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    离线dede
    助理工程师
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    只看该作者 8楼 发表于: 2012-02-15
    5楼： %h@EP[\  
    AL2O3防水好点吗？ e7 o.xR  
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