摘要:基于非球面离轴反射式投影系统,提出了采用Zernike自由曲面取代非球面进一步优化系统结构的设计方法,并利用Zernike多项式与Seidel像差之间的关系,优化系统的成像性能.设计采用一片Zernike自由曲面取代四片非球面系统中的一片非球面,使投影系统的厚度从24 em 减为20 em,边缘视场的调制传递函数(MTF)在5Olp/mm时由45 提高到57 ,中心视场及0.7视场的MTF由6O 提高到了7O ,两系统畸变均小于3 ,且由于采用柱面弯曲屏幕设计,场曲均在18 mm 以下.研究结果表明,应用Zernike自由曲面设计投影系统不仅可以提高光学系统的性能,而且可以实现更加超薄的系统结构. &TmN^R>
关键词:光学设计;超薄投影系统;Zernike多项式;自由曲面;弯曲屏幕