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    [求助]请问有没有在Silica上刻光波导方面的资料？ [复制链接]

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    离线ttxs
    实习生
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2009-11-23
    用集成电路的工艺来刻蚀Silicon很容易，除了在设计方面费点事。 7FP*oN?  
    如果我想用传统的二氧化硅刻光波导（AWG的那些东西），工艺就不同，应为Silica不容易刻。 6m/r+?'  
    哪位高手有用Silica刻光波导的资料？谢谢了。 + /4A  
     
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    离线gqy271
    实习生
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    光币
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 2010-06-14
    我也想要
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