1. Mirror: Surface Accuracy 1/10 λ @ 632.8nm ,
"j<l=l! 2. Mirror: Wavefront error < λ /15
rms@1.315 μm for aberration < Zernike poly 15
gTby%6-\| 请问1/10 和 1/15 在这里是什么意思? 如果能告知原理, 更是感激不尽. Zernike Poly是波前误差的什么多项式, 那么15指什么? 如果能简明告知原理, 感激涕零.
{)c2#h 我已经被surface form, accuracy, figure, flatness, fringe, irregularity..... 完全
iFi6,V*PRt 搞晕了. 似乎整个工厂都没人懂, 不过zygo上面好像有这些数据, 晕啊, 到底哪个是哪个啊.
b;AGw3SF 请高人指点.
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