[求助]超难, 请指教. 关于面型 [复制链接]

1. Mirror: Surface Accuracy 1/10 λ @ 632.8nm , ?wE@9g A  
2. Mirror: Wavefront error <  λ /15 rms@1.315 μm for aberration < Zernike poly 15 3/IQ]8g"  
 请问1/10 和 1/15 在这里是什么意思? 如果能告知原理, 更是感激不尽. Zernike Poly是波前误差的什么多项式, 那么15指什么? 如果能简明告知原理, 感激涕零.  "=4`RM  
我已经被surface form, accuracy, figure, flatness, fringe, irregularity..... 完全 Ta#vD_QP  
搞晕了. 似乎整个工厂都没人懂, 不过zygo上面好像有这些数据, 晕啊, 到底哪个是哪个啊.  R"(rL5j  
请高人指点. :T~Aa(%(  

抱歉我不会  

没有人会啊? 整个业界都没有?

是不是多项式最后的停止计算的误差范围啊？

（1）1/10 λ @ 632.8nm  指平面镜的面形精度峰谷值为十分之一波长，相对He-Ne激光器的632.8nm  而言，ZYGO使用的就是这个波长的光源。再说明白点，相当于平面镜最高点和最低点距离不超过63.28nm。 zF/}s_><*  
Surface Accuracy 指这片镜子的面形精度，非要对应的话，此处相当于传统的局部光圈ΔN=0.1 .Pq8C  
（2）Wavefront error <  λ /15 rms@1.315 μm for aberration < Zernike poly 15   b qB[vPsI  
Wavefront error指标准平面波经平面镜反射后的波前差大小。 i=_leC)rl  
使用少于15项的zernike多项式通过拟合波前，得到波前的均方根值优于λ /15 （λ=1.315 μm）。此处波前跟反射镜面形是二倍关系。 7UHqiA`L  
使用15项zernike多项式的意思是对低频部分而言，忽略高频。（拟合波前时使用的zernike多项式项数越多，可代表的表面起伏数目就越多，可参考相关资料） $oE 4q6b  
一般对平面镜而言，使用15项或者更多的项数，面形的均方根值不会有太多变化。 ^7q=E@[e
 
$n `Zvl2  

楼上说的很详细了，赞！

楼主说的很详尽啊！

学习一下新知识

4楼已经完美解答了