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    [求助]磁控溅射过程中，电压为什么会上升？ [复制链接]

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    离线eeaarr
    实习生
     
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    1
    光币
    5
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2009-09-29
    磁控溅射镀Ni-Si膜过程中，电压为什么会慢慢上升？从44升到60
     
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    离线rock5330
    实习生
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    光币
    13
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2009-09-30
    你使用直流溅射吧……
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