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    [讨论]镀膜机真空故障问题排除 [复制链接]

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    离线dushuren
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2009-08-22
    我是新手提的问题不是那么准确。希望大家给予指正！！！ # fqrZ9:@  
    既然是讨论，那么我提的问题是： Q u2 ~wp<  
    在进入高真空以前时间短，抽速也很快。进入高真空以后开烘烤，抽速特慢，要达到6.5E-3可能总的要2个半小时以上。 ^EiU>   
    对这个问题大家说点经验吧！！！
     
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    离线1985120
    助理工程师
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    只看该作者 1楼 发表于: 2009-08-26
    请问你的机器是什么型号啊，抽的也太慢了啊！！！！！！！！！！
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    离线dushuren
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    只看该作者 2楼 发表于: 2009-08-27
    谢谢支持，机器是蓝光1100型，双扩散泵的
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    离线1985120
    助理工程师
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    只看该作者 3楼 发表于: 2009-08-27
    不好意思蓝光1100我怎么没听过啊。可能是我见识太浅了。蓝光是公司吗？不过两个扩散泵不可能抽这么慢，十有八九是漏气了。
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    离线ruobing
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    只看该作者 4楼 发表于: 2009-09-01
    温度是会影响气压的，温度升高气压增加，PV=nRT 比如温度从100抽到200 压强也会加倍，当然是在没抽的情况下
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    离线dushuren
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    只看该作者 5楼 发表于: 2009-09-02
    谢谢大家的意见，现经过处理加热系统虽然问题的本质没有解决，但是可以在1小时搞定
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    离线evact
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    只看该作者 6楼 发表于: 2010-01-28
    是南光的镀膜机吧...
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    离线beiju2010
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    只看该作者 7楼 发表于: 2010-02-04
    应该是南光的镀膜机吧...
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    离线苏州膜头
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    只看该作者 8楼 发表于: 2010-02-19
    回 楼主(dushuren) 的帖子
    查扩散泵，真空室检漏吧。
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    离线27676995
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    只看该作者 9楼 发表于: 2010-04-24
    检漏 NG的话 哥们换油吧  
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