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    [求助]关于阻蒸过程中膜料溢出的问题 [复制链接]

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    离线lywfeng
    工程师
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2009-07-09
    最近在蒸发YbF3过程中，不定时的出现膜料从蒸发舟溢出现象，并因此导致零件表面出现材料点，使合格率下降。膜料溢出后导致膜层表面出现材料点的问题虽然有据可查，但为何膜料会从蒸发舟中溢出却一直未排查出原因。 Alq(QDs  
    wgA_38To  
    p K$`$H  
    敬请高手指教
    [ 此帖被lywfeng在2009-07-10 22:08重新编辑 ]
     
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    离线lywfeng
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    只看该作者 1楼 发表于: 2009-07-12
    急需解决此工艺问题，哪位大侠帮帮忙啊
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    离线caoguoyin
    实习生
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    只看该作者 2楼 发表于: 2009-07-12
    查查你的阻蒸功率工艺是否稳定吧
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    离线lywfeng
    工程师
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    只看该作者 3楼 发表于: 2009-07-13
    回 2楼(caoguoyin) 的帖子
    应该不是阻蒸功率的问题，用阻蒸的时候向来都是自动程序配合手动控制，此问题都是出现在同一膜料YbF3上，且发生时间不具备习惯性，目前没有发现规律
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    离线damao
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    只看该作者 4楼 发表于: 2009-11-12
    这好像是个普遍问题吧，需要在工艺上想办法吧
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    离线dede
    助理工程师
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    只看该作者 5楼 发表于: 2012-05-09
    蒸发舟中溢出？能否加个盖子
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    离线冰雨8788
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    只看该作者 6楼 发表于: 2012-09-19
    我们前期用蒸法舟镀Al时，溢出也较严重
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    离线ru777rr
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    只看该作者 7楼 发表于: 2012-09-20
    可以換廠商試試看
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    离线a060103112
    实习生
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    只看该作者 8楼 发表于: 2013-02-27
    加电流一定要稳定均匀，如果是手动镀膜的话，必须找熟手
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    离线clark007
    实习生
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    只看该作者 9楼 发表于: 2013-05-30
    是啊，我也碰到这个问题，大家还有什么经验？
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