微型部件的制造一直是属于注射成型技术的应用范畴,然而,一种“神奇”的热成型加工技术却能够生产出高质量的微型部件。在第16届SPE热成型技术年会上,人们讨论了微热成型工艺,提出了该工艺在微电子机械市场领域中的巨大应用潜力。人们同时讨论的技术还包括:“类铬效果”的TPO部件、可降低成型周期的“四运动工位活塞”,以及可快速更换模具的PD500 Mega 气缸。 l`mNOQ@}'
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微热成型技术 P
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德国Forschungszentrum Karlsruhe公司的微结构技术研究院是一家大型的、以政府基金为基础的研究机构。该机构的研究人员开发了实验室规模的热成型工艺,据说该工艺可成型尺寸在0.1~1000nm之间(1000nm=1μm)的微型部件,首次达到了工业标准的微成型要求。开发该工艺的目的是为了满足生命科学领域对微型部件的需求,如用于药学研究的生化试剂的合成与分析用一次性LOC微射流装置。 U3 -cH
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作为一种微观改进的技术,这种新的热成型系统包括3个部分:带有微型型腔的平板模具,一台用于产生真空和气压的带孔压板,以及模具与压板之间的密封设施。其工艺过程是:将模具安装到一台实验室用的压机上,然后将一片塑料薄膜(20~50μm)嵌入模具中。压机闭合后,尽管在模具与压板之间的薄膜没有被压紧,但是仍然获得了一定的真空度。随着模具的完全闭合,薄膜被压紧,同时也被加热,当薄膜达到热变型温度以后,就会在大约50bar的气压作用下流入模具型腔中,这时模具已经冷却到20℃,低于材料的热变型温度。随着气压的下降,模具打开,微型部件即被成型出来。 g><*qd?t
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据介绍,该工艺中使用的模具可以通过机加工、EDM、光刻、电镀、湿法或干法蚀刻、激光等技术进行加工。金属、陶瓷、玻璃和硅碳化合物可用作模具材料。该工艺可使用50μm厚的聚苯乙烯、聚碳酸酯或者环状烯烃共聚物薄膜。 5Z<y||=
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