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    [求助]椭偏仪和台阶仪测薄膜厚度的问题 [复制链接]

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    离线小英子
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2007-12-10
    请教一下：我用椭偏仪和台阶仪分别测了一下薄膜的厚度，结果至少差了有200nm，请问一下哪一个测量的更准确呢！谢谢大家！
     
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    离线yurongjun228
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    只看该作者 9楼 发表于: 2011-04-06
    能提供下载资料吗
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    离线uantel
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    只看该作者 8楼 发表于: 2011-04-06
    准确的讲，是后者准确，台阶仪是接触式测量
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    离线myjoy88
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    只看该作者 7楼 发表于: 2010-02-02
    当然是椭偏仪更准，因为测试的结果可以和理论值比较 J$9:jE-4  
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    离线hp1965
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    只看该作者 6楼 发表于: 2009-10-03
    薄膜的总厚度是多少？哪一个测量的更准确与你关心的是光学厚度或几何厚度有关！
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    离线wuya02109
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    只看该作者 5楼 发表于: 2009-08-07
    如果是测厚度这一项的话，还是台阶仪更准些。
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    离线timberwolf
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    只看该作者 4楼 发表于: 2009-03-25
    如果操作无误，我相信台阶仪
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    离线whuai
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    只看该作者 3楼 发表于: 2009-02-28
    请分享
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    离线oneday1979
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    只看该作者 2楼 发表于: 2009-01-02
    我也想知道
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    离线ccc502
    实习生
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    只看该作者 1楼 发表于: 2007-12-10
    后者更精确

    楼主留言：

    为什么呢？
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