美国 Filmetrics 制作了一本容易理解的解释薄膜测量的指南。宗旨就是更好地理解光谱反射的物理原理。 E[N3`"
这本 12 页的指南名为《薄膜测量的解密》,它是薄膜工业内每一位从业人员的理想读物。 不管您的工作是薄膜沉积、测量、还是使用薄膜,理解光谱反射背后的原理都会为您的知识基础增添宝贵的财富。 XrD@q
在对薄膜技术进行简短的介绍以后,解密指南将会把复杂的光谱反射分解为单层和多层的薄膜堆,以及厚度测量和光学常数的相互影响。 最后一章是关于光谱反射到椭偏仪的比较。 v*k}{M
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